Agilent Technologies 969-6500, User Manual

Page 1: ...uzioni Ohjekäsikirja Bedienungshandbuch Oδηγιες χρησεως Notice de mode d emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual Instruksjon manual 87 901 016 01 A 04 2011 ...

Page 2: ...cument are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government prime contract or subcontract Software is delivered and licensed as Commercial computer software as defined in DFAR 252 227 7014 June 1995 or as a commercial item as defined in FAR 2 101 a or as Restr...

Page 3: ...Turbo V 903 Pumping System Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A 3 306 Turbo V 903 Pumping System ...

Page 4: ...Turbo V 903 Pumping System 4 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 5: ...lari 16 Informazioni Generali 17 Immagazzinamento 19 Preparazione per l installazione 19 Installazione 21 Fissaggio della pompa 22 Uso 24 Manutenzione 27 Smaltimento 28 2 Gebrauchsanleitung29 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeines31 Lagerung 33 Vor der Installation 34 Installation 35 Befestigung der Pumpe 36 Gebrauch 38 Wartung 41 ...

Page 6: ...es 45 Stockage 47 Preparation pour l installation 48 Installation 50 Fixation de la pompe51 Utilisation 53 Entretien 56 Mise au rebut 57 4 Manual de istrucciones 59 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 60 Información general 61 Almacenamiento 63 Preparación para la instalación 64 Instalación 65 Fijación de la bomba66 Uso 68 Mantenimiento 71 Eliminación 72 ...

Page 7: ...ara a instalação78 Instalação 80 Fixação da bomba 81 Utilização 83 Manutenção 86 Eliminação 87 6 Bedrijfshandleiding 89 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 90 Algemene informatie 91 Opslag 93 Voorbereiding voor installatie 94 Installatie 96 Bevestiging van de pomp 97 Gebruik 99 Onderhoud 102 Afvalverwerking 103 7 Istruktionsbog 105 Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 1...

Page 8: ...else 114 Nødstop 116 Vedligeholdelse 117 Bortskaffelse 117 8 Bruksanvisning 119 Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar120 Allmän information 121 Förvaring 123 Förberedelser för installation 124 Installation 125 Fastsättning av pump 126 Användning 128 Underhåll 131 Bortskaffning 132 9 Instruksjon Manual 133 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 134 Generell informasjon135 ...

Page 9: ...d 145 Eliminering 146 10 Ohjekäsikirja 147 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 148 Yleisiä tietoja 149 Varastointi 151 Valmistelut asennusta varten152 Asennus 153 Pumpun kinnitys154 Käyttö 156 Huolto 159 Hävittäminen 160 11 Oδηγιεσ Χρησεωσ 161 Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου 162 Γενικες πληροφοριες 163 Αποθηκευση 165 Προετοιμασια για την εγκατασταση 166 ...

Page 10: ...tató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 178 Általános informáicó179 Tárolás 181 Előkészítés telepítésre 182 Telepítés 183 A szivattyú rögzítése184 Használat 186 Karbantartás 189 Megsemmisítés 190 13 Podrecznik Instrukcji 191 Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 192 Informacje ogolne 193 Magazynowanie 195 Przygotowanie do instalacji 196 Instalacja 197 Mocowanie pompy 198 ...

Page 11: ... pro Turbomolekulární vývěvy 206 Všeobecné informace 207 Uskladnění 209 Příprava k instalaci 210 Instalace 211 Upevnění vývěvy212 Použití 214 Údržba 217 Likvidace 217 15 Návod na Obsluhu 219 Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy 220 Všeobecné informácie 221 Uchovávanie 223 Príprava na inštaláciu 224 Inštalácia 225 Upevnenie vývevy 226 Použitie 228 Údržba 231 ...

Page 12: ...4 Splošne informacije 235 Shranjevanje 236 Priprava za montažo 237 Montaža 238 Pritrjevanje črpalke 239 Uporaba 241 Vzdrževanje 244 Odlaganje opadkov 244 17 Instructions for Use 245 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 246 General Information 247 Storage 249 Preparation for Installation 250 Installation 251 Pump Fixing252 Use 254 Maintenance 257 Disposal 257 ...

Page 13: ...Interconnections 268 Earth ground Connection 269 How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller 276 How to Connect the Outputs of the Controller 279 Procedure to Connect the Serial and I O ports to an External Cable 282 Soft Start 291 Air Cooling Kit 292 Connection of the Fore Vacuum Pump 296 Connection to the Pump 297 Pump used in Presence of Magnetic Fields 298 Accessories and Spare ...

Page 14: ...Contents 14 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 15: ...colari 16 Informazioni Generali 16 Immagazzinamento 19 Preparazione per l installazione 19 Installazione 21 Fissaggio della pompa 22 Uso24 Accensione ed Uso del TV 903 Pumping System 25 Arresto del TV 903 Pumping System 25 Arresto di Emergenza 26 Manutenzione 27 Smaltimento 28 Traduzione delle istruzioni originali ...

Page 16: ...na elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata AVVERTENZA Per evitare danni all apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori è necessario seguire attentam...

Page 17: ...mpare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso ma non è adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide L effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità 48000 giri min max mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento Il TV 903 Pumping System è totalmente privo di agenti contaminanti ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto pul...

Page 18: ...Manual 87 901 016 01 A AVVERTENZA I messaggi di avvertenza attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo ...

Page 19: ... immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione ATTENZIONE Se per qualsiasi ragione il tempo di immagazzinamento è superiore occorre reinviare la pompa in fabbrica Per ogni informazione si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent Preparazione per l installazione Il TV 903 Pumping System viene fornita in un imballo protettivo speciale se si pre...

Page 20: ... essere esposti al vuoto Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata NOTA Il TV 903 Pumping System non può essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto all atmosfera Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere Figura 1 Preparazione per l installazione PUMPING SYSTEM 969 8811 48VDC ...

Page 21: ...ia gelo neve polveri gas aggressivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura da 10 C a 35 C umidità relativa 0 90 non condensante In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi V...

Page 22: ...uali potrebbero causare seri danni o la morte e o danni agli apparati adiacenti Fissare il TV 903 Pumping System in posizione stabile montando la flangia di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema con una connessione capace di resistere ad una coppia di 6800 Nm attorno al proprio asse Per esempio questa Bolted Flange può essere fissata con viti M10 in acciaio ad alta resistenza cla...

Page 23: ... il dispositivo ad una linea di alimen tazione che soddisfi tale categoria Il TV 903 Pumping System ha dei connettori per gli ingres si uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile Assicurarsi che l isolamento del dispositivo connesso al TV 903 Pumping System abbia un isolamento adeguato anche in condi...

Page 24: ...i chiusura Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura può causare lesioni alle persone ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione I cuscinetti potrebbero danneggiarsi Per la mandata all aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressio...

Page 25: ...o occorre riabilitare il modo suddetto tramite software o Remote I O vedere i paragrafi INTERCONNECTION e RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION nell appendice Technical Information Il LED verde posto sul pannello della base del TV 903 Pumping System indica con la frequenza del suo lampeggio le condizioni operative del sistema acceso fisso la pompa è in rotazione normale lampeggiante lentamente peri...

Page 26: ...ernazionale Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e soddisfare i requisiti delle norme CE Le alte tensioni che si sviluppano nel controller possono provocare gravi lesioni o la morte Prima di eseguire delle operazioni di manutenzione all interno dell unità scollegare il cavo di alimentazione Arresto di Emergenza Per arresta...

Page 27: ...eratura superficiale della pompa sia inferiore a 50 C In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda Sicurezza e Salute ...

Page 28: ...valido solo per i paesi della Comunità Europea indica che il prodotto sul quale è applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utente finale a contattare il fornitore del dispositivo sia esso la casa madre o un rivenditore per avviare il processo di raccolta e smaltimento dop...

Page 29: ... Turbomolekularpumpen 30 Allgemeines 30 Lagerung 33 Vor der Installation 34 Installation 35 Befestigung der Pumpe 36 Gebrauch 38 Einschaltung und Gebrauch des TV 903 Pumping Systems 39 Stoppen des TV 903 Pumping System39 Not Aus 40 Wartung 41 Entsorgung 42 Übersetzung der Originalanleitungen ...

Page 30: ...d der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden WARNUNG Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte auf...

Page 31: ...och für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine max 48000 1 min erreicht die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird Der TV 903 Pumping System enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen die ein sauberes Vakuum erfordern Der TV 903 Pumping System verfügt des Weiteren über Z...

Page 32: ...6 01 A WARNUNG Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden ...

Page 33: ...nzwerte nicht überschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 nicht kondensierend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start in Gang zu setzen Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum VORSICHT Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Fris...

Page 34: ...smaterial ist gemäß den Vorschriften zu entsorgen Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85 399 EWG für Umweltschutz VORSICHT Um Entgasungen zu vermeiden dürfen die Teile die mit dem Vakuum in Berührung kommen nicht mit den bloßen Händen angefasst werden Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden HINWEIS Der TV 903 Pumping System kann durch die Umgebu...

Page 35: ...Staub oder ätzenden Gasen ausgesetzt ist oder die explosionsfähig oder mit einer erhöhten Brandgefahr sind Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden Maximaler Druck 2 bar über dem atmosphärischen Druck Temperatur von 10 C bis 35 C Relative Luftfeuchtigkeit 0 90 nicht kondensierend Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen F...

Page 36: ... den Tod und oder Schäden an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten Den TV 903 Pumping System in einer stabilen Position befestigen Den Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems montieren Diese Verbindung soll einem Drehmoment von 6800 Nm um die eigene Achse standhalten Zum Beispiel kann dieser Bolted Flange unter Verwendung hoch widerstandsfähiger Stahlschrauben M10 Klasse...

Page 37: ...e Speisungsleitung angeschlossen werden die dieser Kategorie entspricht Der TV 903 Pumping System hat Verbinder für den Ein und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen sodass kein Teil unter Spannung zugänglich ist Sicherstellen dass die Isolie rung der an den TV 903 Pumping System angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausre...

Page 38: ...t Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden Es besteht Verbrennungsgefahr VORSICHT Während des Betriebs sind Stoß und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden da die Lager beschädigt werden könnten Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden Der Eingangsdruck am Be...

Page 39: ...m Soft Start vorzunehmen muss der genannte Modus über Software oder Remote I O wieder befähigt werden siehe Abschnitte INTERCONNECTION und RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION im Anhang Technical Information Die grüne LED im Boden Schaltfeld des TV 903 Pumping System gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an Daueranzeige Die Pumpe befindet sich im normalen Betrie...

Page 40: ...nehmigten Stecker ausgestattet ist Verwenden Sie dieses Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend geerdeten Steckdose um Stromschläge zu vermeiden und den Anforderungen der EG Richtlinien zu entsprechen Die Hochspannungen die sich im Controller entwickeln können zu schweren Schäden oder zum Tod führen Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen Not Aus Zur Sti...

Page 41: ... Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 C abgesunken ist Bei Defekten kann der Agilent Service in Anspruch genommen werden der eine generalüberholte Pumpe als Ersatz für die defekte Pumpe zur Verfügung stellt HINWEIS Bevor man dem Hersteller eine Pumpe zur Reparatur oder den Umtauschdienst eingesendet ist das Formular Sicherheit und Gesundheit das diesem Handbuch beiliegt ausgefüllt an die örtliche ...

Page 42: ... and Electronic Equipment angebracht Dieses Symbol nur in den EU Ländern gültig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts d h die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer kontaktieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er...

Page 43: ... 44 Indications générales 44 Stockage 47 Preparation pour l installation 48 Installation 50 Fixation de la pompe 51 Utilisation 53 Mise en marche et utilisation du TV 903 Pumping System 54 Arrêt du TV 903 Pumping System54 Arrêt d urgence 55 Entretien 56 Mise au rebut 57 Traduction de la mode d emploi originale ...

Page 44: ... ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors En cas de panne du système par exemple à cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l énergie de rotation pourrait être libérée AVERTISSEMENT Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs il faut suivre attentivement les i...

Page 45: ... de gaz et de composés gazeux mais il n est pas adapté au pompage de liquides ou de particules solides L effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée 48000 tr min maxi mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement Le TV 903 Pumping System est totalement exempt d agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide pro...

Page 46: ...l 87 901 016 01 A AVERTISSEMENT Les messages d avertissement attirent l attention de l opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui effectuée de façon impropre risque de provoquer de graves lésions NOTE Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte ...

Page 47: ...nt avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes température de 20 C à 70 C humidité relative de 0 à 95 non condensante A la première utilisation les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche par le client en mode soft Start Le temps de stockage d une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d expédition ATTENTION En cas de dépassement du temps de stocka...

Page 48: ... System et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le matériel est entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85 399 en matière de protection de l environnement ATTENTION Afin d éviter tout problème de dégazage ne pas toucher à mains nues les éléments devant être exposés au vide Mettre toujours des gants ou toute autre protection ...

Page 49: ...Mode d emploi Preparation pour l installation 3 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A 49 306 Figure 1 Preparation pour l installation PUMPING SYSTEM 969 8811 48VDC POWER SUPPLY 969 6501 ...

Page 50: ...ux gaz agressifs encore moins dans un milieu pouvant présenter un risque d explosion ou d incendie Pendant le fonctionnement il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes pression maxi 2 bar au delà de la pression atmosphérique température de 10 C à 35 C humidité relative 0 90 non condensante En présence de champs magnétiques la pompe doit être protégée à l aide d écran...

Page 51: ... la mort et ou endommager sérieusement les équipements environnants Fixer le TV 903 Pumping System de façon stable en assurant la collerette d entrée de la turbopompe à la contre collerette du système au moyen d une connexion en mesure de résister à un couple de 6800 Nm autour de son axe Par exemple cette flasque boulonnée peut être fixée à l aide de vis M10 en acier à haute résistance classe supé...

Page 52: ...sitif à une ligne d alimentation compatible avec cette catégorie Le TV 903 Pumping System dispose de connecteurs pour les entrées sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu aucune partie sous tension ne soit accessible S assurer que l isolation du dispositif branché au TV 903 Pumping System a une isolation appropriée même en condition de...

Page 53: ...er de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les opérations de chauffage La température élevée peut être à l origine de lésions graves ATTENTION Lorsque la turbopompe fonctionne éviter tout choc oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de ...

Page 54: ...t Start il faut réactiver ce mode opératoire à l aide du logiciel ou par marche arrêt à distance Cf paragraphes INTERCONNECTION et RS232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION dans l annexe Technical Information La LED verte placée sur le panneau de la base du TV 903 Pumping System indique par sa fréquence de clignotement les conditions opérationnelles du système allumée fixe la pompe est en rotation norma...

Page 55: ...iliser ce câble et cette fiche avec une prise connectée d une manière adéquate à terre pour éviter des décharges électriques et satisfaire les requis des normes CE Les tensions élevées qui se développent dans le contrôleur peuvent provoquer de graves endommagements ou la mort Avant d effectuer les opérations d entretien à l intérieur de l unité débrancher le câble d alimentation Arrêt d urgence Po...

Page 56: ...icielle de la pompe soit inférieure à 50 C En cas de panne il est possible de bénéficier du service réparations Agilent qui permet d obtenir une pompe régénérée en remplacement de la pompe endommagée NOTE Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou advanced exchange service remplir et faire parvenir au bureau de vente local la fiche Sécurité et Santé jointe au présent manuel d i...

Page 57: ...de pour les pays de la Communauté européenne indique que le produit sur lequel il est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères ou les déchets industriels ordinaires mais passer par un système de collecte sélective Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente l utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif maison mère ou reven...

Page 58: ...3 Mode d emploi Mise au rebut 58 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 59: ...moleculares 60 Información general 60 Almacenamiento 63 Preparación para la instalación 64 Instalación 65 Fijación de la bomba 66 Uso68 Encendido y Uso del TV 903 Pumping System 69 Parada del TV 903 Pumping System 69 Parada de Emergencia 70 Mantenimiento 71 Eliminación 72 Traducción de las instrucciones originales ...

Page 60: ... tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores En el caso de un daño del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energía de rotación podría ser liberada ADVERTENCIA Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir ...

Page 61: ...uede bombear cualquier tipo de gas o de composición gaseosa pero no es adecuado para bombear líquidos o partículas sólidas El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad 48000 r p m máx movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento El TV 903 Pumping System no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un...

Page 62: ...nual 87 901 016 01 A ADVERTENCIA Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que al no realizarse correctamente podría provocar graves lesiones personales NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto ...

Page 63: ...ntales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente ATENCIÓN En caso de superarse por cualquier motivo ...

Page 64: ...raciones No abandonar el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85 399 para la preservación del medio ambiente ATENCIÓN Para evitar problemas de desgasificación no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vacío Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada NOTA El TV 903 Pumping System no puede dañarse...

Page 65: ...lo nieve polvos gases agresivos ni en ambientes explosivos o sujetos a elevado riesgo de incendio Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presión máxima 2 bares por encima de la presión atmosférica temperatura de 10 C a 35 C humedad relativa 0 90 no condensadora Cuando existan campos electromagnéticos la bomba ha de protegerse mediante pantalla...

Page 66: ...ba o por el sistema con consiguiente grave riesgo de lesiones o muerte y o daños a los aparatos adyacentes Fijar el TV 903 Pumping System en posición estable montando la brida de entrada de la turbo bomba en la contrabrida del sistema con conexión capaz de resistir a un par de 6800 Nm en torno a su propio eje Por ejemplo esta Bolted Flange puede ser fijada con tornillos M10 de acero de alta resist...

Page 67: ...nectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría El TV 903 Pumping System tiene conectores para las entradas salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a los circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión quede accesible Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al TV 903 Pumping System mantenga una acción aisladora incluso en caso de ...

Page 68: ...rida de cierre No tocar la turbo bomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCIÓN Evítense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbo bomba durante su funcionamiento Los cojinetes podrían dañarse Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas La presión de...

Page 69: ...necesario rehabilitar el modo anteriormente indicado mediante software o Remote I O véanse los apartados INTERCONNECTION y RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION en el anexo Technical Information El LED verde situado en el panel de la base del TV 903 Pumping System indica con la frecuencia de su parpadeo las condiciones operativas del sistema encendido fijo la bomba está en rotación normal parpadea ...

Page 70: ...le y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a tierra para evitar descargas eléctricas y cumplir con los Las altas tensiones que se desarrollan en el controlador pueden provocar graves daños o incluso resultar fatales Desconectar el cable de alimentación antes de ejecutar las operaciones de mantenimiento en el interior de la unidad requerimientos de las normas CE Parada de Em...

Page 71: ...esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Agilent que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o advanced exchange service es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de Seguridad y Sa...

Page 72: ...pea indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales y que por el contrario deberá ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se invita al usuario final a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo tanto si éste es la casa fabricante o un distribuidor para poder prove...

Page 73: ...bomoleculares 74 Informações gerais 74 Armazenagem 77 Preparação para a instalação 78 Instalação 80 Fixação da bomba 81 Utilização 83 Acendimento e Utilização do TV 903 Pumping System 84 Paragem do TV 903 Pumping System 84 Paragem de Emergência 85 Manutenção 86 Eliminação 87 Tradução das instruções originais ...

Page 74: ...de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rotação poderia ser liberada ATENÇAO Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores é necessário seguir atentamente as ...

Page 75: ...mposto gasoso mas não é adequado para bombear líquidos ou partículas sólidas O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade 48000 r p m máx movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento O TV 903 Pumping System é totalmente isento de agentes contaminadores e portanto é adequado para aplicações que requerem um vácuo limpo Além disso tem conectores auxiliar...

Page 76: ...ser Manual 87 901 016 01 A ATENÇAO As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que se não executada de modo correto poderiam provocar graves lesões pessoais NOTA As notas contém informações importantes estrapoladas pelo texto ...

Page 77: ...ições ambientais devem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C humidade relativa de 0 a 95 não condensante ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve activá las sempre em modalidade Soft Start o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição CUIDADO Se por uma razão qualquer o período de armazenagem for superior ...

Page 78: ...ir o TV 903 Pumping System e para não submetê lo a choques ou vibrações Não depositar a embalagem no meio ambiente O material é completamente reciclável e em conformidade com a norma CEE 85 399 para a protecção do meio ambiente CUIDADO Para evitar problemas de perdas de gás não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada NOTA O...

Page 79: ...Manual de Istruções Preparação para a instalação 5 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A 79 306 Figura 1 Preparação para a instalação PUMPING SYSTEM 969 8811 48VDC POWER SUPPLY 969 6501 ...

Page 80: ...va gelo neve em ambientes sujeitos a pó gases agressivos ambientes explosivos ou com alto risco de incêndio Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais pressão máxima 2 bar além da pressão atmosférica temperatura de 10 ºC a 35 ºC humidade relativa 0 90 não condensante Na presença de campos electromagnéticos a bomba deve ser protegida através de blin...

Page 81: ...esões graves ou a morte e ou danificar os equipamentos adjacentes Colocar o TV 903 Pumping System em posição estável fixando a flange de entrada da turbobomba à contra flange do sistema com uma ligação que resista a um torque de 6800 Nm à volta do seu eixo Por exemplo esta Bolted Flange pode ser fixada com parafusos M10 de aço de alta resistência classe maior que 8 8 A tabela seguinte descreve o n...

Page 82: ...e o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria O TV 903 Pumping System tem conectores para as entradas saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão Assegure se de que o isolamento do dispositivo ligado ao TV 903 Pumping System esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria con...

Page 83: ...do com a flange de fecho Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas CUIDADO Evitar colisões oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas A pressão de entrad...

Page 84: ...preciso reactivar o modo acima referido utilizando o software ou o Remote I O consultar os parágrafos INTERCONNECTION e RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION no apêndice Technical Information O LED verde posicionado no painel da base do TV 903 Pumping System indica através da frequência de intermitência as condições operacionais do sistema aceso fixo a bomba funciona normalmente intermitência lenta...

Page 85: ...a a nível internacional Utilize este cabo e tomada juntos com uma tomada adequadamente conectada a terra para evitar choques eléctricos e satisfazer os requisitos das normas CE As altas tensões que se desenvolvem no controller podem provocar graves danos ou até morte Antes de realizar operações de manutenção no interno da unidade desligar o cabo de alimentação Paragem de Emergência Para parar o TV...

Page 86: ...peratura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência Agilent que permite obter uma bomba regenerada que substitua a que apresenta defeito NOTA Antes de reenviar ao fabricante uma bomba para as reparações ou o advanced exchange service é indispensável preencher e enviar ao escritório de vendas local a ficha Segurança e Saúde anexa ao p...

Page 87: ... para os países da Comunidade Europeia indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Portanto convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo seja este o fabricante ou um revendedor para encaminhar o processo de recolha e eliminação após a...

Page 88: ...5 Manual de Istruções Eliminação 88 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 89: ... pompen 90 Algemene informatie 90 Opslag 93 Voorbereiding voor installatie 94 Installatie 96 Bevestiging van de pomp 97 Gebruik 99 Inschakeling en gebruik van het TV 903 Pumping System Afzetten van het TV 903 Pumping System 100 Noodstop 101 Onderhoud 102 Afvalverwerking 103 Vertaling van de originele instructies ...

Page 90: ...proken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vrijkomen WAARSCHUWING Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de installatie instruct...

Page 91: ...e gas of gasverbinding te pompen maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine max 48000 toeren min die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement Het TV 903 Pumping System is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een schoon vacuü...

Page 92: ...901 016 01 A WAARSCHUWING Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die indien niet correct uitgevoerd ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht ...

Page 93: ...orden voldaan temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum VOORZICHTIG Indien om een willekeurige reden de opslagtijd lange...

Page 94: ...ten of trillingen te verduren krijgt Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85 399 VOORZICHTIG Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming OPMERKING...

Page 95: ...drijfshandleiding Voorbereiding voor installatie 6 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A 95 306 Figuur 1 Voorbereiding voor installatie PUMPING SYSTEM 969 8811 48VDC POWER SUPPLY 969 6501 ...

Page 96: ...heden regen vorst sneeuw stof of agressieve gassen zijn blootgesteld of in ruimten met explosiegevaar of groot risico op brand Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max druk 2 bar boven de atmosferische druk temperatuur van 10 C tot 35 C relatieve vochtigheid 0 90 niet condenserend In aanwezigheid van elektromagnetische velden moet de pomp op passende wijze afgesch...

Page 97: ...n stabiele positie door de inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het systeem te monteren met een verbinding die in staat is om een koppel van 6800 Nm rondom de eigen as te weerstaan Deze flens Bolted Flange kan bijvoorbeeld worden vastgemaakt met sterke stalen schroeven M10 klasse hoger dan 8 8 In de volgende tabel staat het benodigde aantal schroeven en het bijbehorende aandraaimomen...

Page 98: ...en Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet Het TV 903 Pumping System bezit connectoren voor de ingangen uitgangen en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is Controleer of de inrichting verbonden met het TV 903 Pumping System goed geïsoleerd is ook in geval van een...

Page 99: ...Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken VOORZICHTIG Vermijd schokken trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is De lagers kunnen anders beschadigd raken Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor...

Page 100: ... deze modus met behulp van de software of Remote I O gemachtigd worden zie de paragrafen INTERCONNECTION en RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION in de bijlage Technical Information De groene LED op het paneel van de basis van het TV 903 Pumping System geeft door de frequentie van zijn knipperen de werkcondities van het systeem aan brandt onafgebroken de pomp draait normaal knippert langzaam period...

Page 101: ... een stekker met internationale goedkeuring Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG normen De in de controller ontwikkelde hoge voltage kan ernstige letsels of de dood veroorzaken Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden in het systeem uit te voeren Noodstop Om het TV 903 ...

Page 102: ...tetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent in te schakelen zo krijgt men een geregenereerde pomp ter vervanging van de defecte pomp OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen moet de bij deze handleiding gevoegde kaart Veiligheid en Gezondheid volledig ingevuld naar h...

Page 103: ... de Europese Gemeenschap geeft aan dat het product waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat zij het de fabrikant of een wederverkoper om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten na d...

Page 104: ...6 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 104 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 105: ...per 106 Generel information 106 Opbevaring 109 Forberedelser før installation 110 Installation 111 Fastgorelse af pumpe 112 Anvendelse 114 Start og anvendelse af TV 903 Pumping System 115 Stop af TV 903 Pumping System 115 Nødstop 116 Vedligeholdelse 117 Bortskaffelse 117 Oversættelse af originalinstruktionerne ...

Page 106: ...ing har en stor kinetisk energi der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren går i stykker kan omdrejningsenergien spredes ADVARSEL For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade er det strengt nødvendigt nøje at overholde in...

Page 107: ...ger og den respektive controller Systemet er i stand til at pumpe en hvilken som helst form for gas eller gaslignende luftarter men systemet kan ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste partikler Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine 48000 omdr min max Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt TV 903 Pumping System er ikke fremstillet af skadelige stof...

Page 108: ...TIG Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer der skal følges nøje for ikke at risikere maskinskader ADVARSEL Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne I modsat fald er der risiko for svære personskader BEMÆRK Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten ...

Page 109: ...ytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen FORSIGTIG Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere er de...

Page 110: ...er ved udpakningen Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 85 399 om miljøbeskyttelse FORSIGTIG Komponenter der skal udsættes for vakuum må ikke berøres med bare hænder idet der er risiko for afgasning Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse BEMÆRK Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 903 Pumping System Det anbefales dog at opbevare pu...

Page 111: ... vejrforhold regn is sne støv aggressive luftarter eller i omgivelser med eksplosionsfare eller øget risiko for brand Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift max tryk 2 bar over det atmosfæriske tryk temperatur fra 10 C til 35 C relativ luftfugtighed 0 90 ikke kondenserende Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter skal den afskærmes Se bilaget Technical Informa...

Page 112: ...lvorlige kvæstelser eller dødsfald og eller materiel beskadigelse af apparaterne i nærheden Montér TV 903 Pumping System i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 6800 Nm omkring dens egen akse Denne Bolted Flange kan for eksempel fastgøres med skruer M10 af højstyrkestål klasse højere end 8 8 På nedenst...

Page 113: ...n til en forsyningslinie som opfylder kravene i denne klasse TV 903 Pumping System er forsynet med konnektorer til ind udgange og til seriel kommunikation Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele Kontrollér at anordningen der er tilsluttet TV 903 Pumping System har en passende isolering Dette gælder også i tilfælde...

Page 114: ...ukket ved hjælp af lukkeflangen Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med opvarmningsprocedurerne Den høje temperatur kan resultere i skade på personer FORSIGTIG Undgå sammenstød vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af turbopumpen Der er risiko for beskadigelse af lejerne Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser der ikke indeholder støv eller faste pa...

Page 115: ...måde For at aktivere Soft Start metoden på ny skal ovennævnte måde programmeres ved hjælp af software se afsnittene INTERCONNECTION og RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION i bilaget Technical Information Den grønne LED der er anbragt på panelet på TV 903 Pumping System s fundament angiver systemets funktion ved blink konstant tændt pumpen er i normal rotation langsomme blink periode på ca 400 ms s...

Page 116: ...al være godkendt på international plan Benyt dette kabel og stik sammen med en stikkontakt som på passende måde er forbundet til jorden for at undgå elektriske stød og opfylde kravene ifølge CE EF normerne De høje spændinger som udvikles i controller en kan forårsage alvorlige skader eller døden Før der foretages vedligeholdelses operationer inde i enheden skal man koble fødekablet fra Nødstop Afb...

Page 117: ...nge service skal Sikkerheds og tilstandsdokumentet der er vedlagt denne instruktionsmanual udfyldes og sendes til den lokale forhandler En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse Skrotning af pumpen skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love Bortskaffelse Betydningen af WEEE logoet på mærkaterne Nedenstående symbol anvendes i overensst...

Page 118: ...7 Istruktionsbog Bortskaffelse 118 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 119: ...ar 120 Allmän information 120 Förvaring 123 Förberedelser för installation 124 Installation 125 Fastsättning av pump 126 Användning 128 Start och användning av TV 903 Pumping System 129 Avstängning av TV 903 Pumping System 129 Nödstopp 130 Underhåll 131 Bortskaffning 132 Översättning av originalinstruktionerna ...

Page 120: ...r en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppstå i systemet t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det hända att rotationsenergin frigörs VARNING För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer måste installationsinstruktionerna som beskriv...

Page 121: ...v gas eller gasföreningar Dock lämpar sig inte systemet för pumpning av vätskor eller fasta partiklar Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin max 48000 varv minut som drivs av en trefas högeffektsmotor Inga tillsatsämnen används i TV 903 Pumping System som därför passar för tillämpningar som kräver ett rent vakuum TV 903 Pumping System har dessutom hjälpkontakter som gör det möjlig a...

Page 122: ...ser Manual 87 901 016 01 A VARNING Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna I annat fall finns risk för svåra personskador OBSERVERA Detta visar på viktig information i texten ...

Page 123: ...ande omgivningsförhållanden respekteras Temperaturområde 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet OBSERVER Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka till fabriken Var god ...

Page 124: ...ackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet är återvinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 85 399 om miljöskydd OBSERVER Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer pga kontamineringsrisken Använd alltid handskar eller liknande skydd OBSERVERA Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 903 Pumping System Trots det är det säkrast att håll...

Page 125: ... atmosfärförändringar regn is snö damm frätande gaser eller i områden med hög explosions eller brandrisk Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift maximitryck 2 bar över atmosfäriskt tryck temperatur från 10 C till 45 C relativ luftfuktighet 0 90 utan kondens I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med särskilda skärmar Se bilagan Technical information för ytterligare upplysninga...

Page 126: ...a allvarliga skador eller dödsfall och eller skador på apparater i närheten Fäst TV 903 Pumping System i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett vridmoment på 6800 Nm kring sin axel Den här Bolted Flange till exempel kan fixeras med höghållfasta stålskruvar M10 klass högre än 8 8 I tabellen nedan anges hur många skruvar som behövs och med...

Page 127: ...ärför anordningen till en elledning som uppfyller kraven för denna klass TV 903 Pumping System är utrustad med kontaktdon för ingångarna utgångarna och för den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går att komma åt någon spänningsförande del Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 903 Pumping System har en lämplig isolering även vid ett ens...

Page 128: ...lockerad på plats med låsflänsen Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika brännskador OBSERVER Undvik sammanstötningar svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång Lagren kan bli skadade Pumpen ska förses med luft eller med ädelgaser fria från damm eller andra partiklar Ingångstrycket mot rätt port måste understiga 2 bar utöver...

Page 129: ...te man återställa det ovannämnda läget med mjukvaran eller fjärrkontroll I O se styckena INTERCONNECTION och RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION i bilagan Technical Information Den gröna lysdioden på underdelen av TV 903 Pumping System anger genom frekvensen av dess blinkningar hur systemet fungerar fast sken pumpen roterar normalt långsamt blinkande ungefär var 400 ms systemet är i läge för acce...

Page 130: ...r tillsammans med kontakt godkänd på internationell nivå Använd sladden och kontakten tillsammans med en jordad anslutning för att undvika stötar och enligt krävande EU normer Den höga spänningen som framkallas av styrenheten kan orsaka personskador eller till och med döda Dra därför alltid ur strömkabeln innan eventuella underhållsarbeten utförs inuti enheten Nödstopp Dra ut elsladden från strömu...

Page 131: ...a ventilen öppnas Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar kontakta Agilent reparationsverkstad som kan ersätta pumpen med en renoverad pump OBSERVERA Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller advanced exchange service måste hälso och säkerhetsbladet som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den l...

Page 132: ...eiska Unionen indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls eller industriavfall men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med leverantören av anordningen oberoende om det handlar om moderföretaget eller återförsäljaren för att kunna starta uppsamlin...

Page 133: ...kylære pumper 134 Generell informasjon 134 Lagring137 Klargjøre til installasjon 138 Installasjon 139 Festing av pumpen 140 Bruk 142 Starte og bruke TV 903 Pumping System 143 Stoppe TV 903 Pumping System 143 Nødstopp 144 Vedlikehold 145 Eliminering 146 Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen ...

Page 134: ...ølgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren kan roteringsenergien bli frigitt ADVARSEL For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene besk...

Page 135: ...nlegg og en styreenhet Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening Det er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin maks 48000 opm koplet til en svært effektiv trefase elektrisk motor TV 903 Pumping System har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for rene vakuum Den har dessuten hjelpekontakter ...

Page 136: ...ystem User Manual 87 901 016 01 A ADVARSEL Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som hvis den ikke følges kan medføre alvorlige skader MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten ...

Page 137: ...ne må ikke følgende miljøforhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden må alltid soft starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato FORSIKTIG Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres til fabrikken Vennlig...

Page 138: ...m for støt Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte Alle materialer er 100 resirkulerbare og er i samsvar med EU direktiv 85 399 om miljøbeskyttelse FORSIKTIG For å unngå avgassingsproblemer må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr MERK Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 903 Pumping System ...

Page 139: ...ll ikke installeres i lokaler som er utsatt for vær og vind regn frost snø støv aggressive gasser i eksplosive eller brannfarlige miljøer Under bruk må følgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosfærisk trykk temperatur fra 10 C til 35 C relativ fuktighet 0 90 uten kondens Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer Se Technical Information for detaljer TV 903 Pum...

Page 140: ... Dette kan føre til alvorlige skader eller død og eller skader på annet utstyr i nærheten Fest TV 903 Pumping System i en stabil posisjon monter turbopumpens innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i stand til å tåle et dreiemoment på 6800 Nm rundt sin egen akse For eksempel denne Bolted Flange kan festes med ekstra resistente stålskruer M10 klasse over 8 8 Følgende tabell vis...

Page 141: ...ordningen til en ledning for strømtilførsel som tilfredsstiller kravene for denne klassen TV 903 Pumping System er utstyrt med koplingsstykker for inn utgangene og seriekommunikasjonen som må koples til de ytre strømkretsene slik at ingen deler under spenning er tilgjengelige Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 903 Pumping System har en egnet isolering også under forhold me...

Page 142: ...lukket med lukkeflensen Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De høye temperaturene kan føre til brannskader FORSIKTIG Unngå støt svingninger eller plutselige bevegelser av turbopumpen når den er i funksjon Lagrene kan skades Bruk støv og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen Trykket ved inngangen gjennom den dertil egnede åpning må ikke vær...

Page 143: ... å oppnå en Myk Start igjen er det nødvendig å tilbakestille modusen via software eller Remote I O se avsnittene INTERCONNECTION og RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION i tillegget Technical Information Den grønne lysdioden på TV 903 Pumping System basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink den lyser fast pumpen roterer normalt den blinker langsomt ca hver 400 ms systemet er i stilling ...

Page 144: ...nalt godkjent for brukerens sikkerhet Bruk denne kabelen og støpselet sammen med en egnet jordet kontakt for å unngå elektrisk støt og for å overholde EU forskriftene Høyspenningene som utvikler seg inne i styreenheten kan føre til alvorlige skader eller dødsulykker Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten er det nødvendig å kople fra strømkabelen Nødstopp Trekk nettkabelen ut av str...

Page 145: ...og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom pumpen stanser må du ta kontakt med Agilent reparasjonservice eller med Agilent avanserte bytteservice som kan tilby en overhalt pumpe til erstatning for den ødelagte MERK Før en pumpe returneres til produsenten for reparasjon eller som innbytte mot et overhalt system er det helt nødvendig å fylle ut og sende det vedlagte skjemaet Helse og s...

Page 146: ...ette symbolet som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter på IKKE må behandles som vanlig hus industriavfall men må legges i kildesortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen som kan være et firma eller en forhandler som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert...

Page 147: ...urvaohjeet 148 Yleisiä tietoja 149 Varastointi 151 Valmistelut asennusta varten 152 Asennus 153 Pumpun kinnitys 154 Käyttö 156 TV 903 Pumping Systemin käynnistys ja käyttö157 TV 903 Pumping Systemin pysäyttäminen 157 Hätäpysäytys 158 Huolto 159 Hävittäminen 160 Alkuperäisen ohjeiden käännös ...

Page 148: ...korkea määrä kineettistä energiaa joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan Järjestelmän vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa pyörimisenergia saattaa vapautua VAROITUS Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen ...

Page 149: ...aan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella 48000 kierrosta min max pyörivän turbiinin avulla jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori TV 903 Pumping System järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita joten se soveltuu myös puhdasta tyhjiötä vaativiin käyttötarpei...

Page 150: ...System User Manual 87 901 016 01 A VAROITUS Varoitus merkintöjen tehtävänä on kiinnittää käyttäjän huomio erityisiin toimintatapoihin joiden virheellinen suorittaminen voi aiheuttaa vakavia henkilövahinkoja HUOM Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa ...

Page 151: ...an seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää lämpötila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivistävä Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä HUOMIO Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi pumppu tulee palautt...

Page 152: ...kuja tai tärinöitä Pakkausta ei tule jättää ympäristöön Pakkausmateriaali voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiiviä 85 399 ympäristön suojelusta HUOMIO Jotta kaasun vuoto ongelmilta vältyttäisiin ei tyhjiölle altistuviin osiin tule koskea paljain käsin Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta HUOM TV 903 Pumping System ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman ...

Page 153: ...yttäville kaasuille altistuvissa räjähdysvaarallisissa tai erittäin palovaarallisissa tiloissa Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja maksimipaine 2 baaria yli atmosfäärisen paineen lämpötila 10 C 35 C suhteellinen kosteus 0 90 ei tiivistävä Mikäli läsnä on magneettikenttiä tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla Lisätietoja löytyy Technical Informati...

Page 154: ...kavia vahinkoja tai kuoleman ja tai lähellä olevien laitteiden vaurioita Kiinnittäkää TV 903 Pumping System vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitoksella joka kestää 6800 Nm n momentin akselinsa ympäri Tämä ruuvilaippa voidaan esimerkiksi kiinnittää kestävillä teräsruuveilla M10 lujuusluokka yli 8 8 Seuraavassa taulukossa esitetään vaadittu ruuv...

Page 155: ...i sähköverkkoon joka täyttää tämän luokan vaatimukset TV 903 Pumping System laitteissa on liittimet sisääntuloille ulostuloille sekä sarjakytkennälle jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi Varmista että TV 903 Pumping System laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010 ...

Page 156: ...aipalla Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia HUOMIO Vältä kolhuja heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana sillä laakerit voivat vahingoittua Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole pölyä tai hiukkasia Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee olla alle 2 baaria y...

Page 157: ... Soft Start tavalla tulee kyseinen tapa aktivoida uudelleen ohjelmiston tai Remote I O avulla ks kappaleet IINTERCONNECTION ja RS 232 485 VIESTINNÄN KUVAUS Technical Information liitteessä Vihreä LED joka sijaitsee TV 903 Pumping System n perustan paneelissa osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet palaa jatkuvasti pumppu pyörii normaalisti vilkkuu hitaasti noin 400 ms n jaks...

Page 158: ...kökaapelia käyttämällä katso tilattavien osien taulukkoa Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun pistorasian kanssa jotta sähköiskuilta vältytään ja CE normien vaatimukset täyttyvät Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia onnettomuuksia tai jopa kuoleman Irrota sähkökaapeli ennen yksikön sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista Hätäpysäy...

Page 159: ...mistä Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC en Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Agilent in korjauspalvelua jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoittuneen tilalle HUOM Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon Turvallisuus ja Terveys kaavake joka on l...

Page 160: ...in mukaisesti Merkki koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita tarkoittaa että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous tai teollisuusjätteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä tarkastettuaan ensin k...

Page 161: ... Στροβίλου 162 Γενικες πληροφοριες 163 Αποθηκευση 165 Προετοιμασια για την εγκατασταση 166 Εγκατασταση 168 Στερεωση τησ αντλιασ 169 Χρηση 171 Έναυση και Χρήση του TV 903 Pumping System 172 Σταμάτημα του TV902 Navigator 173 Σταμάτημα Έκτακτης Ανάγκηςj 173 Συντηρηση 174 Χώνευση 175 Μεταφραση οδηγιων χρησησ ...

Page 162: ... κινητικής ενέργειας λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήματος για παράδειγμα επαφής ρότορα επαγωγέα ή ακόμη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα η ενέργεια περιστροφής μπορεί να ελευθερωθεί ΚΙΝ ΥΝΟΣ Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισμού και για την πρόληψη τραυματισμών του προσωπικο...

Page 163: ...ρ Το σύστημα είναι ικανό να αντλήσει οποιοδήποτε είδος αερίου αεριούχο προϊόν αλλά δεν είναι κατάλληλο για την άντληση υγρών ή στερεών σωματιδίων Η ενέργεια άντλησης επιτυγχάνεται διαμέσου μίας τουρμπίνας που περιστρέφεται σε υψηλή ταχύτητα 48000 στρ λεπτό max κινούμενη από έναν τριφασικό ηλεκτρικό κινητήρα υψηλών επιδόσεων Το TV 903 Pumping System στερείται παντελώς ρυπαντικών παραγόντων οπότε εί...

Page 164: ...χής εμφανίζονται πριν από τις διαδικασίες οι οποίες αν δεν τηρηθούν θα μπορούσαν να προκαλέσουν βλάβες στη συσκευή ΚΙΝ ΥΝΟΣ Οι ενδείξεις κινδύνου ελκύουν την προσοχή του χειριστή σε μία διαδικασία ή σε μία ειδική εργασία η οποία αν δεν εκτελεστεί σωστά θα μπορούσε να προκαλέσει σοβαρές προσωπικές βλάβες ΣΗΜΕΙΩΣΗ Οι σημειώσεις περιέχουν σημαντικές πληροφορίες που έχουν αποσπαστεί από το κείμενο ...

Page 165: ...εριβαλλονικές συνθήκες θερμοκρασία από 20 C έως 70 C σσχετική υγρασία από 0 έως 95 μη συμπυκνώσιμη ο πελάτης πρέπει να ανάβει τις στροβιλομοριακές αντλίες με τον τρόπο Σοφτ Σταρτ όταν παραλαμβάνονται και θέτονται σε λειτουργία για πρώτη φορά ο χρόνος αποθήκευσης μίας στροβιλομοριακής αντλίας είναι 10 μήνες από την ημερομηνία αποστολής ΠΡΟΣΟΧΗ Εάν για οποιοδήποτε λόγο ο χρόνος αποθήκευσης είναι μεγ...

Page 166: ...έσει το TV 903 Pumping System και να μην υποστεί χτηπήματα ή δονήσεις Μην εγκαταλείπετε τη συσκευασία στο περιβάλλον Το υλικό ανακυκλώνεται πλήρως και ανταποκρίνεται στην Οδηγία της Ε Ο Κ 85 399 για τη διαφύλαξη του περιβάλλοντος ΠΡΟΣΟΧΗ Για να αποφύγετε προβλήματα απαγωγής αερίου μην αγγίζετε με γυμνά χέρια τα συστατικά που είναι προορισμένα να εκτεθούν στο κενό Χρησιμοποιείτε τα γάντια ή άλλη κα...

Page 167: ...ιεσ Χρησεωσ Προετοιμασια για την εγκατασταση 11 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A 167 306 Φιγούρα 1 Προετοιμασια για την εγκατασταση PUMPING SYSTEM 969 8811 48VDC POWER SUPPLY 969 6501 ...

Page 168: ...ντες βροχή πάγο χιόνι σκόνη αέρια προσβολής σε εκρήξιμη ατμόσφαιρα ή με υψηλό κίνδυνο πυρκαγιάς Κατά τη διάρκεια της λειτουργίας πρέπει να τηρούνται οι ακόλουθες συνθήκες περιβάλλοντος μέγιστη πίεση 2 bar πάνω από την ατμοσφαιρική πίεση θερμοκρασία από 10 C μέχρι 35 C σχετική υγρασία 0 90 ασυμπύκνωτη Σε παρουσία ηλεκτρομαγνητικών πεδίων η αντλία πρέπει να προστατεύεται με κατάλληλα προκαλύμματα Βλ...

Page 169: ...μπορούσαν να προκαλέσουν σοβαρό τραυματισμό ή θάνατο και ή ζημιά στον παρακείμενο εξοπλισμό Στερεώστε το TV 903 Pumping System σε σταθερή θέση τοποθετώντας τη φλάντζα εισόδου της στροβιλοαντλίας στην κοντραφλάντζα του συστήματος με σύνδεση ικανή να υπόκειται σε ροπή 6800 Nm γύρω από τον άξονά της Για παράδειγμα αυτή η Bolted Flange μπορεί να στερεωθεί με βίδες M10 από χάλυβα υψηλής αντοχής κατηγορ...

Page 170: ... τη διάταξη σε μία γραμμή τροφοδότησης η οποία ικανοποιεί αυτήν την κατηγορία Ο TV 903 Pumping System έχει βύσματα για τις εισόδους εξόδους και για τη σειριακή επικοινωνία που πρέπει να συνδεθούν στα εξωτερικά κυκλώματα έτσι ώστε να μην είναι προσιτό κανένα μέρος υπό τάση Βεβαιωθείτε ότι η μόνωση της συνδεδεμένης διάταξης στον TV 903 Pumping System έχει μια κατάλληλη μόνωση ακόμα και σε κατάσταση ...

Page 171: ...ντλία αν η φλάντζα εισόδου δεν είναι συνδεδεμένη στο θάλαμο κενού ή δεν είναι κλειστή με τη φλάντζα κλεισίματος Μην αγγίζετε την τουρμποαντλία και τα ενδεχόμενα εξαρτήματά της κατά τις εργασίες θέρμανσης Η υψηλή θερμοκρασία μπορεί να προκαλέσει προσωπικές βλάβες ΠΡΟΣΟΧΗ Αποφύγετε συγκρούσεις ολισθήσεις ή απότομες μετακινήσεις της αντλίας τούρμπο όταν βρίσκεται σε λειτουργία Θα μπορούσαν να πάθουν ...

Page 172: ...χει προβλεφθεί για να ανάβει η αντλία μετά από μεγάλη περίοδο ακινησίας Αυτό επιτρέπει την άρτια διανομή του γράσου στα κουζινέτα Για να κάνετε εκκίνηση με το Soft Start ενεργό πρέπει να ενεργοποιήσετε τη σχετική ρύθμιση μέσω του software ή REMOTE I O βλέπε τις παραγράφους INTERCONNECTION και RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION στα περιεχόμενα Technical Information Το πράσινο LED το οποίο βρίσκετ...

Page 173: ...νακα κατάταξης των μερών εφοδιασμένο με ρευματολήπτ11 στάνταρ διεθνώς εγκεκριμένο Αυτό το καλώδιο τροφοδότησης με τον ρευματολήπτη να χρησιμοποιείται μαζί με έναν ρευματοδότη κατάλληλα συνδεδεμένο με το έδαφος για να αποφεύγεται η ηλεκτροπληξία και να ικανοποιούνται οι προδιαγραφές των οδηγιών ΕΚ Οι υψηλές τάσεις που αναπτύσσονται στο κοντρόλερ μπορούν να προκαλέσουν σοβαρές βλάβες ή τον θάνατο Πρ...

Page 174: ... κατώτερη από 50 C Σε περίπτωση βλάβης μπορείτε να απευθυνθείτε στο service της Agilent ή στο Agilent advanced exchange service που σας δίνει τη δυνατότητα να αντικαταστήσετε τη χαλασμένη αντλία με μία άλλη αναζωογονημένη ΠΡΟΣΟΧΗ Πριν επιστρέψετε στον κατασκευαστή την αντλία για επισκευή ή για advanced exchange service είναι απαραίτητο να συμπληρώσετε και να παρουσιάσετε στο τοπικό Γραφείο Πωλήσεω...

Page 175: ...υτό το σύμβολο που ισχύει μόνο για τις χώρες της Ευρωπαϊκής Κοινότητας δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι εφαρμοσμένο ΔΕΝ πρέπει να πεταχτεί μαζί με κοινά οικιακά ή βιομηχανικά σκουπίδια αλλά με διαφοροποιημένο τρόπο Γι αυτό παρακαλούμε τον τελικό χρήστη να έρθει σε επαφή με τον πωλητή της συσκευής ή με το εργοστάσιο σχετικά με την εκκίνηση της διαδικασίας διαφοροποιημένης συλλογής κατόπιν επαλ...

Page 176: ...11 Oδηγιεσ Χρησεωσ Χώνευση 176 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 177: ...ivattyúkhoz 178 Általános informáicó 179 Tárolás181 Előkészítés telepítésre 182 Telepítés 183 A szivattyú rögzítése 184 Használat 186 A TV 903 Pumping System bekapcsolása és működtetése 187 A TV 903 Pumping System kikapcsolása 187 Vészleállítás 188 Karbantartás 189 Megsemmisítés 190 Az eredeti utasítás fordítása ...

Page 178: ...rbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt A rendszer hibás működése például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése esetén a forgási energia felszabadulhat VESZÉLY A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigo...

Page 179: ...lőegységből álló integrált rendszer A rendszer bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni De nem alkalmas folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására A szivattyúzást egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral hajtott nagysebességű turbina max 48000 fordulat perc biztosítja A TV 903 Pumping System szennyezőanyagoktól mentes és ezért alkalmas tiszta vákuumot igénylő alka...

Page 180: ...User Manual 87 901 016 01 A VESZÉLY A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra ami ha nem megfelelően végzik el súlyos személyi sérülésekhez vezethet MEGJEGYZÉS A megjegyzések fontos a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak ...

Page 181: ...a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni hőmérséklettartomány 20 C 70 C relatív páratartalom 0 95 nem kondenzáló A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti őket Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a szállítás dátumától számítva FIGYELEM Ha valamilyen okból a raktározási időt túllépik a szivatt...

Page 182: ...agy rázkódását Ne dobja el a csomagoló anyagokat a környezetben Az anyag teljesen újrafeldolgozható és megfelel a 85 399 EK a Környezetvédelemről szóló irányelvnek FIGYELEM Gázkivonási problémák elkerülésére ne érintse meg puszta kézzel a vákuumnak kitett komponenseket Mindig viseljen kesztyűt vagy más alkalmas védőfelszerelést VESZÉLY Ha csak a légkörnek van kitéve az nem károsíthatja a TV 903 Pu...

Page 183: ...eső hó jég pornak agresszív gázoknak kitett illetve robbanás vagy tűzveszélyes környezetben Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani maximális nyomás 2 bar a légköri nyomás felett hőmérséklet 10 C tól 35 C ig relatív páratartalom 0 90 nem kondenzáló Elektromágneses mezők jelenlétében a szivattyút ferromágneses pajzs segítségével védeni kell Részletes információért lá...

Page 184: ... ami komoly károkat illetve halálos sérüléseket és vagy a többi gép károsodását okozhatja Rögzítse a TV 903 Pumping Systemt stabil helyzetben a turbószivattyú bemeneti karimáját a rendszer ellenkarimájára szerelve 6800 Nm tengely körüli nyomatéknak ellenállni képes csatlakozással Például ez a csavarmenetes karima rögzíthető nagy teherbírású M10 acélcsavarokkal 8 8 nál magasabb osztály A következő ...

Page 185: ...int Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózatra A TV 903 Pumping Systemnak olyan bemeneti kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak amelyeket úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni hogy semmilyen feszültség alatt lévő rész ne legyen hozzáférhető Győződjön meg arról hogy a TV 903 Pumping Systemhoz csatlakoztatott eszköz szigetelése megfelelő még egyes hibák eseté...

Page 186: ...m zárja azt le a lezárókarima Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat FIGYELEM Kerülje a turbószivattyú ütését rázását vagy durva mozgatását üzem közben A csapágyak megsérülhetnek Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú átlevegőztetéséhez A bemeneti nyomásnak a me...

Page 187: ...ddal történő indításhoz a fenti üzemmódot egy szoftveren keresztül vagy REMOTE I O segítségével kell beállítani lásd az INTERCONNECTION és RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION KOMMUNIKÁCIÓ LEÍRÁSA pontokat a Technical Information c mellékletben A TV 903 Pumping System en elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit ha nem villog a szivattyú rendesen forog ...

Page 188: ...llátva Ezt a kábelt és csatlakozó dugót megfelelően földelt csatlakozó aljazattal használja hogy elkerülje az áramütés veszélyét és eleget tegyen az EK normatíváiban lefektetett biztonsági követelményeknek A magasfeszültség ami az ellenőrző egységben keletkezik súlyos sérüléseket sőt halált okozhat Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne kapcsolja le az egységről a tápfeszültség ...

Page 189: ...árjon amíg a rotor forgása leáll és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 C alá esik Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Agilent szervizközponttal ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert a hibás helyett MEGJEGYZÉS Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a rendszert a gyártóhoz az ehhez a kézikönyvhöz csatolt Egészség és biztonság űrlapot ki kell tölteni és el kell külden...

Page 190: ...ai Közösség országaiban érvényes azt jelzi hogy a termék melyen megtalálható NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő rendszerbe kell továbbítani A végfelhasználónak a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után fel kell vennie...

Page 191: ...ekularnych 192 Informacje ogolne 193 Magazynowanie 195 Przygotowanie do instalacji 196 Instalacja 197 Mocowanie pompy 198 Użytkowanie 200 Włączenie i Użytkowanie TV 903 Pumping System 201 Zatrzymanie TV 903 Pumping System201 Zatrzymanie Awaryjne 202 Konserwacja 203 Przetworstwo odpadow 204 Tłumaczenie instrukcji oryginalnej ...

Page 192: ...ługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników W przypadku uszkodzenia systemu na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika energia obrotowa może być zwolniona ZAGROZENIE Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów należy obowiązkowo przestrzegać...

Page 193: ... gazu lub mieszanki gazowej ale nie jest przystosowany do pompowania płynów lub stałych cząstek Efekt pompowania jest uzyskiwany poprzez turbinę obrotową o wysokiej prędkości max 48000 obr min napędzaną przez elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności Urządzenie TV 903 Pumping System jest całkowicie pozbawiony czynników zanieczyszczających a więc odpowiedni do zastosowań gdzie jest wymaga...

Page 194: ... System User Manual 87 901 016 01 A ZAGROZENIE Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała PRZYPIS Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu ...

Page 195: ...leży przekraczać następujących warunków środowiskowych temperatura od 20 C do 70 C względna wilgoć od 0 do 95 bez opar klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zawsze uruchomić w sposób Soft Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki UWAGA Jeżeli z jakiegokolwiek powodu czas magazynowania jest dłuższy należy...

Page 196: ...wibracjom Nie porzucać opakowania w środowisku Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu bo zgodny z dyrektywą UE 85 399 dotyczącej ochrony środowiska UWAGA Aby uniknąć problemów odgazowywania należy nie dotykać gołymi rękoma części przeznaczonych do wytwarzania próżni Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie PRZYPIS Urządzenie TV 903 Pumping Syste...

Page 197: ...yłów niszczących gazów w środowiskach wybuchowych lub z wysokim ryzykiem pożarowym Podczas działania należy obowiązkowo przestrzegać następujących warunkówi otoczenia maksymalne ciśnienie 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym temperatura od 10 C do 35 C względna wilgoć 0 90 bez opar W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie W celu ...

Page 198: ...e uszkodzenia lub śmierć osób jak i uszkodzić aparaturę znajdującą się w pobliżu systemu Zamocować TV 903 Pumping System w pozycji stabilnej montując kołnierz wejścia turbopompy do kołnierza systemu dokręcając w taki sposób aby połączenie to wytrzymało moment 6800 Nm wokół własnej osi Na przykład ta Bolted Flange może być zamocowana śrubami M10 stalowymi o dużej wytrzymałości powyżej klasy 8 8 Nin...

Page 199: ...ądzenie do linii zasilania która spełnia te wymogi TV 903 Pumping System posiada konektory wejściowe wyjściowe i do przekazu szezregowego które muszą być podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część znajdująca się pod napięciem nie mogła być dostępna Należy upewnić się że izolacja przyrządu podłączonego do TV 903 Pumping System posiada odpowiednie nawet w stanie pojedynczej usterki ...

Page 200: ...ty kołnierzem zamykającym Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na osobach UWAGA Unikać uderzeń wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej działania Mogą uszkodzić się łożyska Dla wlotu powietrza pompy stosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek Ciśnienie wejściowe popr...

Page 201: ...ę w aktywnym trybie Soft Start należy uruchomić oprogramowanie software lub I O zdalne patrz paragrafy INTERCONNECTION i RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION w załączniku Technical Information Zielona dioda LED znajdująca się na panelu podstawy TV 903 Pumping System wskazuje częstotliwością własnego migania stan operatywny systemu zaświecona na stałe pompa znajduje się w normalnych obrotach miga p...

Page 202: ...ą wtyczką zgodna z międzynarodowymi normami Kabel ten wraz z wtyczką podłączyć do kontaktu uziemionego celem uniknięcia porażeń prądem elektrycznym oraz spełnienia wymogów norm CE Duże siły wewnętrzne wytwarzające się w kontrolerze mogą spowodować poważne uszkodzenia ciała lub śmierć Przed przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego urządzenia odłączyć kabel zasilający Zatrzymanie Awa...

Page 203: ...temperatura powierzchni pompy będzie poniżej 50 C W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Agilent który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zastępstwie uszkodzonego systemu PRZYPIS Przed wysyłką systemu do konstruktora celem naprawy lub advanced exchange service należy obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura sprzedaży kartę Bezpieczeństwo i Zdro...

Page 204: ...ten prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej oznacza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy nawiazac kontakt z d...

Page 205: ...ekulární vývěvy 206 Všeobecné informace 207 Uskladnění 209 Příprava k instalaci 210 Instalace 211 Upevnění vývěvy 212 Použití 214 Zapnutí a používání vývěvy TV 903 Pumping System 215 Vypnutí vývěvy TV 903 Pumping System 215 Nouzové zastavení 216 Údržba 217 Likvidace 217 Překlad originálního návodu ...

Page 206: ...sovány v následujícím návodu obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů V případě systémové nefunkčnosti např kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie NEBEZPEČÍ Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a z...

Page 207: ... se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum Zařízení může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs Není vhodný na čerpání tekutin nebo pevných částic Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína max 48000 ot min poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem Vývěva TV 903 Pumping System neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující čisté vakuum Je vybavena přídavnými...

Page 208: ...903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A NEBEZPEČÍ Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz POZNÁMKA Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu ...

Page 209: ...vání vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí Teplotní rozpětí 20 C až 70 C Rozpětí vlhkosti 0 až 95 bez srážení turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé vždycky spouštět pozvolně skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne doručení POZOR Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty vývěvu musíte vrátit výrobci Infor...

Page 210: ...cí materiál nevyhazujte do volného prostředí Tento materiál lze 100 recyklovat a splňuje požadavky směrnice EEC 85 399 na téma životního prostředí POZOR Aby se zamezilo problémům s odplyňováním nepoužívejte holé ruce při manipulaci s komponenty které budou vystaveny vakuu Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu POZNÁMKA Normální prostředí nechráněnou vývěvu TV 903 Pumping System nemůže...

Page 211: ...ickým vlivům déšť mráz sníh prachu agresivním plynům ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím maximální tlak 2 bary nad atmosférickým tlakem teplota od 10 C do 35 C relativní vlhkost 0 90 bez srážení V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním Viz podrobné informace v př...

Page 212: ...by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení Vývěvu TV 903 Pumping System umístěte do stabilní polohy a přívodní přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému pomocí přípojky která odolá točivému momentu 6800 Nm kolem své osy Např přírubu Bolted Flange lze připevnit vysokopevnostními ocelovými šrouby M10 třídy vyšší než 8 8 Následující tabulka uvádí ne...

Page 213: ...ídy Zařízení připojte do napájecí sítě která splňuje uvedenou třídu Vývěva TV 903 Pumping System je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci které se musí připojit k externím obvodům tak aby žádná elektrická součást nebyla přístupná Zajistěte aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 903 Pumping System byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice...

Page 214: ...emá li utaženou zavírací přírubu Během zahřívání se turbomolekulární vývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte Vysoká teplota může způsobit popáleniny POZOR Během chodu chraňte vývěvu před nárazy vibracemi a prudkými pohyby Mohla by se poškodit ložiska Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn který je zbaven prachu a smítek Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary n...

Page 215: ...utí s aktivním pozvolným rozběhem je nutno obnovit tento způsob v softwaru nebo prostřednictvím dálkových VSTUPŮ VÝSTUPŮ viz odstavce INTERCONNECTION a RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION v příloze Technical Information Zelená kontrolka umístěná na panelu základny vývěvy TV 903 Pumping System indikuje provozní stavy systému blikáním bez blikání vývěva se otáčí normálně pomalé blikání interval cca...

Page 216: ...e zástrčkou mezinárodně schválenou Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně uzemněnou zásuvku abyste předešli úrazu elektrickým proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES Vysoké napětí které vzniká v regulátoru může způsobit vážné zranění i smrtelné Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TV 903 Pumping System v...

Page 217: ...list Zdraví a bezpečnost přiložený k tomuto návodu a odešlete ho do kanceláře místního prodejního oddělení Před odesláním přibalte k zařízení kopii tohoto listu Pokud se má vývěva vyřadit musí se zlikvidovat v souladu s konkrétními státními normami Likvidace Význam loga WEEE nacházejícího se na štítku Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným WEEE Tento symbol platný jen pro státy Evr...

Page 218: ...14 Návod k Použití Likvidace 218 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 219: ... vývevy 220 Všeobecné informácie 221 Uchovávanie 223 Príprava na inštaláciu 224 Inštalácia 225 Upevnenie vývevy 226 Použitie 228 Zapnutie a použitie zariadenia TV 903 Pumping System 229 Vypnutie zariadenia TV 903 Pumping System 229 Núdzové zastavenie 230 Údržba 231 Likvidácia 231 Preklad originálneho návodu ...

Page 220: ...ledujúcej príručke sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov V prípade systémovej poruchy napr pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora sa može uvolniť rotačná energia NEBEZPEČÍ Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k...

Page 221: ...é vákuové aplikácie s príslušným kontrolným modulom Systém dokáže odčerpať ľubovoľný typ plynu alebo plynnej zmesi Nie je vhodný na odčerpávanie tekutín alebo pevných častíc Odčerpávanie zabezpečuje vysokorýchlostná rotačná turbína max 48000 otáčok minútu poháňaná vysokovýkonným 3 fázovým elektrickým motorom Zariadenie TV 903 Pumping System neobsahuje žiadne kontaminačné činidlá a preto sa hodí pr...

Page 222: ...o V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A NEBEZPEČÍ Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie POZNÁMKA Poznámky upozorňujú na dôležité informácie v texte ...

Page 223: ...očas prevozu prenášania a uchovávania vývev rozsah teplôt 20 C až 70 C rozsah relatívnej vlhkosti 0 až 95 bez kondenzácie zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej vývevy vždy použiť režim soft štartu skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo dňa dodania POZOR Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia vráťte vývevu do závodu v ktorom bola vyrobená In...

Page 224: ... Obalový materiál nevyhadzujte ale zlikvidujte predpísaným spôsobom Materiál je 100 recyklovateľný a spĺňa požiadavky normy EEC 85 399 na ochranu životného prostredia POZOR Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním nechytajte komponenty ktoré budú vystavené vákuu holými rukami Vždy používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu POZNÁMKA Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 903 Pu...

Page 225: ...počasia dážď sneh mráz prachu agresívnym plynom výbušným alebo veľmi horľavým látkam Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia maximálny tlak 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku teplota od 10 C do 35 C relatívna vlhkosť 0 90 bez kondenzácie V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená vhodným ochranným štítom Podrobné informácie sa nachádzajú v do...

Page 226: ... a alebo poškodiť ďalšie zariadenia Upevnite zariadenie TV 903 Pumping System do stabilnej polohy tak že pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k protiprírube systému Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 6800 Nm okolo vlastnej osi Napríklad skrutkovacia príruba sa môže upevniť pomocou veľmi pevných oceľových skrutiek M10 trieda vyššia než 8 8 Nasledujúca tabuľka uvádza potrebný počet ...

Page 227: ...enie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania ktorý vyhovuje uvedenej kategórii Zariadenie TV 903 Pumping System má konektory pre vstup výstup a konektory sériovej komunikácie ktoré je potrebné pripojiť k vonkajšiemu okruhu tak aby k žiadnej súčiastke pod napätím nebol prístup Presvedčite sa či zariadenie pripojené k TV 903 Pumping System má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chy by podľ...

Page 228: ...endovaná V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani žiadneho príslušenstva Vysoké teploty môžu spôsobiť popáleniny POZOR Dbajte na to aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom kmitaniu alebo prudkým pohybom Mohli by sa poškodiť ložiská Vývevu vetrajte pomocou vzduchu alebo inertného plynu zbaveného prachu a častíc Tlak na ventilačnom vstupe musí byť nižší než 2 bary nad a...

Page 229: ... chodu v režime Soft Start musíte ho aktivovať príslušným softvérovým príkazom alebo prostredníctvom diaľkových VSTUPOV VÝSTUPOV viď odseky INTERCONNECTION a RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION v prílohe Technical Information Zelená dióda LED na základnom čelnom paneli zariadenia TV 903 Pumping System ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti systému žiadne blikanie výveva normálne rotuje poma...

Page 230: ...o zástrčkou medzinárodne schválenou Túto šnúru so zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemne nou zásuvkou aby nedošlo k zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené požiadavky noriem ES Vysoké napätie v kontrolnom zariadení môže spôsobiť vážne škody alebo smrť Prv než začnete prevádzať údržbárske práce v tejto jednotke odpojte napájaciu šnúru Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie TV 903 Pumping ...

Page 231: ...ém odošlete na opravu alebo výmenu musíte vyplniť dotazník Zdravie a bezpečnosť pripojený k návodu na použitie a odoslať miestnemu predajcovi Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním Ak je potrebná likvidácia vývevy musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny Likvidácia Význam loga WEEE nachádzajúceho sa na štítkoch Aplikovanie doluozznačeného symbolu...

Page 232: ...15 Návod na Obsluhu Likvidácia 232 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 233: ...palke 234 Splošne informacije 234 Shranjevanje 236 Priprava za montažo 237 Montaža 238 Pritrjevanje črpalke 239 Uporaba 241 Vključitev in uporaba naprave TV 903 Pumping System 242 Izključevanje naprave TV 903 Pumping System242 Zaustavitev v sili 243 Vzdrževanje 244 Odlaganje opadkov 244 Prevod navodil v izvirniku ...

Page 234: ...ane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija SVARILO Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz te...

Page 235: ...čine ali trdnih delcev Črpanje se izvaja preko hitre turbine maks 48000 rpm ki jo vodi visoko učinkovit 3 fazni električni motor TV 903 Pumping System ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za čisto vakuumiranje Opremljen je s pomožnimi priljučki za dodaten ventilator ki skrbi za nazor šobe za zrak ki je nadzorovana z računalnikom preko serijske povezave RS232 ali RS485 Naslednji odstavk...

Page 236: ...palk ne smete preseči naslednjih specifikacij temperaturno območje 20 C do 70 C območje relativne vlažnosti 0 do 95 brez kondenza Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja POZOR Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo je treba črpalko vrniti v tovarno Za dodatne informacije ...

Page 237: ... v skladu s pravili Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85 399 POZOR Komponent ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami saj boste tako preprečili probleme puščanja Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito OPOMBA Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati naprave TV 903 Pumping System Kljub temu je priporočljivo da je čr...

Page 238: ... na atmosferske agente dež sneg led prah agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom atmosfere temperatura Od 10 C od 45 C Relativna vlažnost 0 90 brez kondenza V prisotnosti magnetnih polj mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom Za dodatne informacije glejte prilogo Technical In...

Page 239: ... in povzročijo resne poškodbe ali smrt in ali poškodujejo okoliško opremo Namestite TV 903 Pumping System na stabilno pozicijo tako da zmontirate dovodno prirobnico turbo črpalke na prirobnico na sistemu tako da povezava lahko zdrži navor večji od 6800 Nm okoli osi Na primer to prirobnico lahko namestite z močnimi jeklenimi vijaki M10 razred višji od 8 8 Spodnja tabela prikazuje število potrebnih ...

Page 240: ...nje ali prekovoltažo Napravo priljučite na napetost ki je v vskladu z zgornjo kategorijo Naprava TV 903 Pumping System ima vhodne izhodne in serijske priključke ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako da noben električni del ni dosegljiv Prepričajte se da je izolacija naprave priključene na TV 903 Pumping System primerna tudi v primerno ene napake kar je opisano v direktivi EN 61010 1 ...

Page 241: ...a na vakuumsko ležišče Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte Visoka temperatura lahko povzroči opekline POZOR Izogibajte se udarcem oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom delovanja Nosilci se lahko poškodujejo Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara nad pritiskom atmosfere SVAR...

Page 242: ... Za ponovno aktiviranje Soft Start načina je potreben ustrezen programski ukaz ali Remote I O glej poglavja Povezave in Opis komunikacije RS 232 485 v prilogi Technical Information Zelena LED dioda ki se nahaja na sprednji plošči TV 903 Pumping System s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema Brez utripanja Č rpalka je normalno vrti Poč asno utripanje perioda približno 400 ms Sistem je...

Page 243: ...naročijo z vtikačem potrjen na mednarodnem nivoju Uporabljajte ta kabel in vtikač skupaj s primerno ozemljeno vtičnico tako da vas tok ne strese in da zadovoljite EU predpisom Visoka napetost ki je prisotna v krmilniku lahko povzroči hude poškodbe ali smrt Preden začnete z vzdrževalnimi postopki v notranjosti izvlecite napajalni kabel Zaustavitev v sili Za takojšenj izklop naprave TV 903 Pumping S...

Page 244: ...ali zamenjavo z drugo enoto morate izpolniti Health and Safety obrazec ki je priložen navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni Pred pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema Črpalko je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi standardi Odlaganje opadkov Pomen znamke WEEE na etiketah Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom WEEE Ta simbo...

Page 245: ...Turbomolecular Pumps 246 General Information 247 Storage 249 Preparation for Installation 250 Installation 251 Pump Fixing 252 Use 254 Switching on and Use of TV 903 Pumping System 255 TV 903 Pumping System Switching off 255 Emergency Stop 256 Maintenance 257 Disposal 257 Original Instructions ...

Page 246: ... manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released WARNING To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this m...

Page 247: ...vant controller The system can pumps any type of gas or gas compound It is not suitable for pumping liquids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 48000 rpm driven by a high performance 3 phase electric motor The TV 903 Pumping System is free of contaminating agents and therefore is suitable for applications requiring a clean vacuum It is equipped with a...

Page 248: ...ystem User Manual 87 901 016 01 A WARNING The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which if not followed correctly could lead to serious injury NOTE The notes contain important information taken from the text ...

Page 249: ...ronmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 90 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the customer the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded the pump has to be return...

Page 250: ...tion to it Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 CAUTION In order to prevent outgassing problems do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum Always use gloves or other appropriate protection NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the TV 903 Pumping System ...

Page 251: ... rain snow ice dust aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk During operation the following environmental conditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature from 10 C to 35 C relative humidity 0 90 non condensing In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield See the appendix Tec...

Page 252: ...which could cause serious injury or death and or damage to surrounding equipment Fix the TV 903 Pumping System in a stable position mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter flange with a connection capable of withstanding a torque of 6800 Nm around its axis For example this Bolted Flange can be fixed using high strength M10 steel screws class higher than 8 8 The following t...

Page 253: ...e EN 61010 1 Connect the device to a mains line that satisfy the above category The TV 903 Pumping System has Input Output and serial communication connectors that must be connected to external circuits in such a way that no electrical part is accessible Be sure that the insulation of the device connected to the TV 903 Pumping System is adequate even in the case of single fault as per directive EN...

Page 254: ...the vacuum chamber Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric press...

Page 255: ...ystem base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions with no flashing the pump is normally rotating slowly flashing period of about 400 ms the system is in ramp or in braking or in Stop or in Waiting for interlock status fast flashing period of about 200 ms error condition TV 903 Pumping System Switching off To switch off the TV 903 Pumping System it is nece...

Page 256: ... Use Use 256 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A Emergency Stop To immediately stop the TV 903 Pumping System in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug ...

Page 257: ...alth and Safety sheet attached to this instruction manual must be filled in and sent to the local sales office A copy of the sheet must be inserted in the system package before shipping If a pump is to be scrapped it must be disposed of in accordance with the specific national standards Disposal Meaning of the WEEE logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE...

Page 258: ...17 Instructions for Use Disposal 258 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 259: ... Condition 267 Interconnections 268 Earth ground Connection 269 J54 Power Input 269 P4 External Fan 270 J1 In Out 270 Signal Description 271 HOW to Connect the Open Collector Inputs of the Controller 276 HOW to Connect the Outputs of the Controller 279 P2 Serial 280 Procedure to Connect the Serial and I O ports to an External Cable282 RS 232 RS 485 Communication Description 283 Communication Proto...

Page 260: ...ystem User Manual 87 901 016 01 A Air Cooling Kit 292 TV 903 Pumping System 292 Air Cooling Kit Cable Fixing 293 Connection of the Fore Vacuum Pump 296 Connection to the Pump 297 Pump used in Presence of Magnetic Fields 298 Accessories and Spare Parts 299 ...

Page 261: ...Pumping System The TV 903 Pumping System is composed by a pump with an envelope with fins and a shroud with two fans and a dedicated integrated controller 969 6500 The pump is equipped with a custom ISO 160 F high vacuum flange The following pictures show the pump and the controller Figure 2 Controller model 969 6500 Figure 3 Pumping System model 969 8811 ...

Page 262: ...lf positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs These are made of aluminium alloy During normal operation the motor is fed with a voltage of 27 Vac three phase at 800 Hz To reduce losses during start up to a minimum the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage frequency ratio The pump has to be air cooled a...

Page 263: ...ven by a single chip microcomputer and is composed of one PCB which include 3 phase output analog and input output section microprocessor and digital section The controller converts a 48Vdc voltage supply into a 3 phase low voltage medium frequency output which is required to power the pump The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection A Windows based software ...

Page 264: ...fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre vacuum pump Inlet flange Custom ISO 160 F Foreline flange KF 25 Rotational speed 48000 rpm Start up time 6 minutes Recommended forepump DS 402 TriScroll 300 Operating position any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 10 C to 45 C Bakeout temperature 80 C at inlet flange max ...

Page 265: ...6501 2 x T5A250H Compliance with UNI EN 292 1 UNI EN 292 2 EN 61010 1 2001 EN 61326 1 2006 Emission level Class B for Residential Application Immunity level for Industrial Application Power cable With European or NEMA plug 3 meters long optional Serial communication T Plus kit RS232 cable with a 9 pin D type male connector and a 9 pin D type female connector and T Plus software optional Installati...

Page 266: ...ng System Outline 266 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A TV 903 Pumping System Outline The following figure shows the TV 903 Pumping System outlines dimensions are in mm inches Figure 4 TV 903 pumping system outline ...

Page 267: ...t Power during High Temperature Condition When the body temperature reaches a value 45 C the maximum output power decreases with a rate of 3 W C up to a max body temperature of 55 C If the body temperature exceed 55 C the controller goes in status 6 Fail Nitrogen Pumping Speed 0 100 200 300 400 500 600 700 800 1 E 05 1 E 04 1 E 03 1 E 02 1 E 01 Inlet Pressure mbar Pumping Speed L s ...

Page 268: ...68 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A Interconnections The following figure shows the TV 903 Pumping System interconnections Figure 6 Interconnections External fan Serial Line Output Power Supply Input Output Earth ground ...

Page 269: ...yellow conductor and use a M5 x 10 screw and shake proof washer fitted to the earth hole on the pump to secure the earth conductor to the pump The screw must be fixed with a 2 Nm torque The impedance between the pump body and the earth connection point must be 0 1 Ω J54 Power Input Figure 7 Power input The controller must be supplied with a voltage of 48 Vdc 10 according to the drawing use 2 pins ...

Page 270: ...ted 48 Vdc connector to supply the optional external fan A shielded cable with ferrite is shipped with the controller see picture The faston contact has to be connected on the front panel in order to reduce noise and accomplish the EMC rules J1 In Out Figure 9 In Out This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 903 Pumping System ...

Page 271: ...Out 10 Contact normally open 11 Programmable set point Out 12 Contact normally open 13 Fault output Out 14 Programmable analog signal Out 15 Ground Programmable analog signal Out Signal Description Start Stop input signal to start or stop the pump With the supplied cover connector the START STOP signal is connected to the 24 Vdc pin and the START STOP signal to the GROUND pin in this condition the...

Page 272: ...These setting can be changed by serial interfaces see windows meaning table windows 101 to 105 The same settings are used by the programmable set point Speed setting PWM input signal to set the pump speed The PWM signal characteristics must be the following frequency 100 Hz 20 amplitude 24 V max duty cycle range from 25 to 75 corresponding to an output frequency from 300 Hz to 800 Hz linearly NOTE...

Page 273: ...y chosen frequency current or time is higher than the set threshold The signal can be high level active that is the output is normally at 0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated or low level active that is the output is normally at 24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated Moreover if the reference quantity is the frequency or the current drawn it is possible to set the hysteresis in of the threshol...

Page 274: ...500 Hz It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings reference quantity frequency threshold 720 Hz hysteresis 2 activation type high level delay time 0 second NOTE The T Plus Software optional allows the operator to set all the programmable feature When no external input output device is available t...

Page 275: ...Technical Information Earth ground Connection 18 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A 275 306 Figure 12 Mating Connector ...

Page 276: ... Inputs of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of the integrated controller to an external system Two cases are considered 1 the customer supplies the 24 Vdc 2 the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc 60 mA voltage a GROUND signal and the open collector pin are available Figure 13 Case 1 ...

Page 277: ...Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller 18 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A 277 306 Figure 14 Case 2 with relay utilisation ...

Page 278: ...18 Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller 278 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A Figure 15 Case 2 with transistor utilisation ...

Page 279: ...r The following figure shows a typical logic output connection relay coil but any other device may be connected e g a LED a computer etc and the related simplified circuit of the controller The following figure refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9 Figure 16 Typical output connection The following figure shows a typical output connection to a relay coil ...

Page 280: ...o V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A Figure 17 Output to a relay coil P2 Serial Figure 18 9 pin connector This is a 9 pin D type serial input output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 903 Pumping System Table 3 Signal characteristics and use ...

Page 281: ...o V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A 281 306 Pin N Signal name 1 5 V OUT 2 TX RS232 3 RX RS232 4 A RS422 Optional 5 GND 6 A RS485 7 B RS422 Optional 8 B RS485 9 Reserved A serial communication kit with a serial cable and the T Plus software is available optional ...

Page 282: ...has to be utilized for both serial and I O port connection Remove the plastic protection on both the ends of the cable picture b and after it is necessary to connect the wires to the single pins like showed in the picture c NOTE Take care to have a good contact between the metallic case and the external shield of the wire Moreover this operation has to be done at least on the controller side In th...

Page 283: ...cation as well as the device address by means of the T Plus software Communication Format 8 data bit no parity 1 stop bit baud rate 600 1200 2400 4800 9600 19200 programmable Communication Protocol The communication protocol is a MASTER SLAVE type where Host MASTER Controller SLAVE The communication is performed in the following way 1 the host MASTER send a MESSAGE CRC to the controller SLAVE 2 th...

Page 284: ...g with the data to be written into the window In case of a reading command this field is not present The field length is variable according to the data type as per the following table Table 4 Data type Field length Valid characters Logic L 1 0 off 1 on Numeric N 6 0 9 right justified with 0 Alphanumeric A 10 from blank to _ ASCII ETX End of transmission 0x03 CRC XOR of all characters subsequent to...

Page 285: ...a read instruction of a numeric window Alphanumeric 10 bytes After a read instruction of an alphanumeric window ACK 1 byte 0x6 The command execution has been successfully completed NACK 1 byte 0x15 The command execu tion has been failed Unknown Window 1 byte 0x32 The specified window in the command is not a valid window Data Type Error 1 byte 0x33 The data type specified in the command Logic Numer...

Page 286: ...les Command START Source PC Destination Controller 02 80 30 30 30 31 31 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command STOP Source PC Destination Controller 02 80 30 30 30 31 30 03 42 32 STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC ...

Page 287: ...OFT START ON Source PC Destination Controller 02 80 31 30 30 31 31 03 42 32 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command SOFT START OFF Source PC Destination Controller 02 80 31 30 30 31 30 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC ...

Page 288: ... in Stop condition YES 1 NO 0 101 R W N Set Point type 0 Frequency 1 Current 2 Time default 0 102 R W N Set Point threshold expressed in Hz mA or s default 867 103 R W N Set Point delay time between the pump start and the set point check seconds 0 to 99999 default 0 104 R W L Set Point signal activation type the signal can be high level active or low level active 0 high level active 1 low level ac...

Page 289: ...0 default 1100 121 R W N Maximum rotational frequency in Hz active only in Stop condition 150 to 1100 default 1100 123 124 Reserved to Agilent service 130 Reserved to Agilent service 200 R N Pump current in mA dc 201 R N Pump voltage in Vdc 202 R N Pump power in W pump current x pump voltage duty cycle 203 R N Driving frequency in Hz 204 R N Pump temperature in C 205 R N Pump status Stop 0 Waiting...

Page 290: ...ble 402 R A CRC Param PA PA8XXXX where XXXX are variable 404 R A CRC Parameter structure XXXX 406 R A Program Listing code revision XXXX 407 R A Parameter Listing code revision XXXX 500 Reserved to Agilent service 503 R W N RS 485 address 0 to 31 default 0 504 R W L Serial type select 0 RS 232 1 RS 485 default 0 7 6 5 4 3 2 1 0 TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP T bearing 60 C...

Page 291: ... distribution in the berings The Soft Start mode is disabled by default To enable the Soft Start mode it must be activated by the suitable software or Remote I O command see the paragraphs INTERCONNECTIONS and RS 232 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Soft Start frequency steps are as follow 300 Hz 400 Hz 500 Hz 600 Hz 700 Hz and 800 Hz The pump remains at each step for 300 sec and the minimum ramp up ...

Page 292: ...903 Pumping System cooling during heavy operational conditions Single fan specifications air flow 187 m3 h input voltage 48 Vdc dimensions 127 x 127 x 38 mm 5 x 5 x 1 5 in power 5 W To supply the fan it is necessary to connect the fan supply to the P4 connector of the controller with the special shielded cable included into the kit to reduce noises and to accomplish to EMC norms Figure 21 Pumping ...

Page 293: ...oling kit cable two fixing clamps are included together with the cable kit Figure 22 Kit cable fixing The following instructions detail how to fix the FAN cable with the TV903 Pumping System plastic Air cooling kit Press the two fixing clamps into the dedicated holes 7 mm diameter on the Air cooling plastic shroud Figure 23 Pressing of the clamps 7 mm diameter hole 7 mm diameter hole ...

Page 294: ...ide and on the integrated controller side the cable must lay between the foreline flange and the bottom side of the plastic Air cooling kit Fix the cable by locking the fixing clamps Leave a ripple of about 5 6 cm in length between the cable connector FAN side and the first locking clamp see Figures below Figure 24 Locking clamp Locking clamp ...

Page 295: ...Technical Information Air Cooling Kit 18 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A 295 306 Figure 25 About 5 6 cm ...

Page 296: ... vacuum pump A hose or vacuum approved pipe can be used If a rigid pipe is used any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows NOTE The TV 903 Pumping System is characterized by its high compression ratio also for oil vapors When using a mechanical oil sealed pump it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump...

Page 297: ...ler through an 8 pin connector Pins B C and D are the 3 phase supply to the motor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 KΩ resistance at 25 C and pins E G and H are not connected If the temperature sensor is disconnected the pump will not start To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 C the sensor automatically cuts out the power supply ...

Page 298: ...wer can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool This effect is strongly dependent from the intensity time function and distribution of the magnetic field In general therefore an increase in pump current can be expected If this increase is lower than 50 of the current value drawn by the motor in high vacuum operation no pa...

Page 299: ...ng System User Manual 87 901 016 01 A 299 306 Accessories and Spare Parts Table 7 Accessories and Spare Parts Description Part number Power Supply unit 969 6501 Controller Model 969 6500 T Plus software and serial cable 969 9883 Mains cable European Plug 3m long 969 9957 ...

Page 300: ...18 Technical Information Accessories and Spare Parts 300 306 Turbo V 903 Pumping System User Manual 87 901 016 01 A ...

Page 301: ......

Page 302: ......

Page 303: ......

Page 304: ......

Page 305: ......

Page 306: ... 6 Mead Road Oxford Industrial Park Yarnton Oxford OX5 1QU UK Tel 44 0 1865 291570 Fax 44 0 1865 291571 Toll free 00 800 234 234 00 China Agilent Technologies China Co Ltd Vacuum Products Division No 3 Wang Jing Bei Lu Chao Yang District Beijing 100102 China Tel 86 10 6439 7718 Toll Free 800 820 6556 Korea Agilent Technologies Korea Ltd Vacuum Products Division Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong...