Matsusada EC Series, Instruction Manual

5 

3－1 Outline 

This unit is a polarity switchable bi-polar high voltage power supply with 2 outputs channels 
for electrostatic chuck application.

3－2 Operation method 

1.

Upon  confirming  the  connection  made  with  this  unit  as  specified  (Refer  to  1-4[HOW  TO 
GROUND]), operate it. Be sure to connect the earth with the  ground terminal of the unit. 

2.

Connect the attached AC input cord with AC 115V input connector (INPUT AC115V) on the 
rear  panel  and  plug  socket.  (For  extra  safety  fix  the  cord  on  the  vinyl  clamp  for  cable 
fixation.)     

3.

Connect the interlock. (Refer to P7. d. Interlock) 

4.

Turn on the POWER Switch. The orange lamp lights on, and the unit gets in stand-by mode. 
No high voltage is generated on the output terminal when unit is in this mode.   

5.

When the HV ON/OFF switch is turned on, the red lamp lights on, and the unit gets in enable 
mode(when local mode).     

6.

With the output voltage setting dial, set an desired voltage. 

If  you  want  to  lock  the  output  at  a  set  voltage,  turn  the  locking  lever  to  the  direction  of 
arrow mark as illustrated. 
Output voltage and current are   
displayed at the digital-meter on front panel. 
The change of display for voltage・current can be done with   
the toggle switch which is located on the right side of meter.   

7.

For  ending the operation  of  the power  supply, be  sure  to  return  the  output  voltage  setting 
dial to 0 (if the same voltage is to be used again, leave it as it is), turn off the switches in the 
order of HV ON/OFF switch, POWER ON/OFF switch. 

3－3 Other function 

a．Over voltage protection (O.V.P)    NOTE 1 

This unit has an over voltage protection. Even at the time of abnormality, it is limited at 
approx.  110%  of  the  maximum  rated  voltage,  protecting  power  supply  and  load  from 
damage. 

b．Over current protection (O.C.P) NOTE 2 

This unit has an over current protection. When over current, the output current is limited 
by decreasing the output voltage.   

   NOTE1）O.V.P.――  Over Voltage Protection.

   NOTE2）O.C.P.――  Over Current Protection.

3.Operation manual 

3.Operation Manual 

Locking 
lever

OUTPUT 

VOLTAGE 

SETTING DIAL