Table of contents
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9.3.1 Accessory connection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
9.3.2 Digital outputs and relays on "remote" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
9.3.3 Digital inputs on "remote" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
9.3.4 Analog output on "remote" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
9.3.5 Analog input on "remote" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
9.3.6 Control via interface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
9.4 Operation with the Pfeiffer Vacuum parameter set . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
9.4.1 Factory settings. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
9.4.2 Checking the adjustments. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
9.4.3 Gas type dependent operations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
9.4.4 Set value power consumption . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
9.4.5 Run-up time. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
9.4.6 Adjusting the rotation speed switchpoint. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 28
9.4.7 Rotation speed setting mode . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
9.4.8 Standby . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
9.4.9 Rotation speed set value. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
9.4.10 Operation mode backing pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
9.4.11 Operation with accessories . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
9.4.12 Vent modes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
9.4.13 Monitoring the thermal load. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
10.1 Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
10.2 LC-Display . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
10.3 Key functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
10.4 Symbol description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 34
10.5 Switching on . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
Pfeiffer Vacuum Protocol for "RS-485" . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
11.2.1 Example 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
11.2.2 Example 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38
12.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
12.2 Operation display via LED . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
12.3 Error codes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 40
Dimensions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
Declaration of conformity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44