Quorum Q150T S, Instruction Manual

Q150T Sample Preparation System

Q150T - Instruction Manual

3

10473 - Issue 5

Contents

Section Contents

1

Introduction .......................................................................................................... 8

1.1

General Description ......................................................................................... 8

1.2

Sputter Coating ................................................................................................ 9

1.3

Carbon Coating................................................................................................ 9

1.4

Metal Evaporation ............................................................................................ 9

1.5

Aperture Cleaning ............................................................................................ 9

2

Installation .......................................................................................................... 10

2.1

Pre-installation ............................................................................................... 10

2.1.1

Required Services .......................................................................................................10

2.2

Unpacking...................................................................................................... 11

2.3

Connections................................................................................................... 12

2.3.1

Gas Connections ........................................................................................................13

2.3.2

Electrical Connections.................................................................................................14

2.3.3

Aux Network Connection.............................................................................................14

2.3.4

Vacuum Connections ..................................................................................................15

2.3.5

Fitting the Standard Stage...........................................................................................16

2.3.6

Optional Connections ..................................................................................................16

3

Operation ............................................................................................................ 17

3.1

Switching On for the First Time ...................................................................... 17

3.1.1

The Standby screen ....................................................................................................17

3.2

Running a Profile ........................................................................................... 18

3.3

System Settings ............................................................................................. 20

4

Working with Profiles......................................................................................... 21

4.1

Editing the Active Profile ................................................................................ 21

4.2

Profile Editor .................................................................................................. 21

4.2.1

Creating a New Profile ................................................................................................23

4.2.2

Editing Profile Parameters...........................................................................................24

4.3

Materials ........................................................................................................ 25

4.3.1

Creating a New Material ..............................................................................................26

4.3.2

Editing Material Parameters ........................................................................................26

4.3.3

Deleting a Material.......................................................................................................27

5

Application Guidelines ...................................................................................... 28

5.1

QT Timed Sputter .......................................................................................... 28

5.1.1

Tungsten SEM work....................................................................................................28

5.1.2

High resolution SEM coatings for field emission SEM ................................................28

5.1.3

Aluminium thin film......................................................................................................29

5.2

QT FTM Terminated Sputter........................................................................... 30

5.2.1

High resolution SEM coatings for field emission SEM ................................................30

5.2.2

General thin film coatings............................................................................................30

5.3

Metal Evaporation .......................................................................................... 31

5.3.1

How to achieve a 20nm gold coating ...........................................................................31

5.4

Pulsed Cord Evaporation................................................................................ 32

5.4.1

How to create a 20nm carbon coating .........................................................................32

5.5

Controlled Pulse Cord Evaporation................................................................. 32

5.5.1

Using Controlled Pulse to create a 15nm coat or 2-3nm for EBSD.............................32

5.6

Pulsed Rod Evaporation................................................................................. 34

5.6.1

How to create a conductive layer for SEM...................................................................34

5.7

Ramped Profile .............................................................................................. 35

5.7.1

Carbon insert setup.....................................................................................................35

5.7.2

The ramped current profile..........................................................................................36

5.7.3

Adjusting coating thickness.........................................................................................37

5.7.4

How to create a carbon support layer For TEM...........................................................37

How to create a conductive carbon layer for SEM ....................................................................38

5.8

Using Outgas Source options ......................................................................... 39

5.8.1

Setting Outgas Source options ...................................................................................39

5.8.2

Running Multiple Outgassing ......................................................................................39

5.9

Glow Discharge.............................................................................................. 40

5.9.1

Hydrophilisation...........................................................................................................40

5.9.2

Surface Cleaning.........................................................................................................40