Ulvac DISL-102, Instruction Manual

-5-

For safe operation 

CAUTION

Prevent foreign 

matter from 

entering 

Danger of foreign matter entering 
inlet 

If you use the seal material or the 
adhesive, etc. to prevent Leak of the joint 
when piping with internal screw of inlet, be 
careful not to enter the seal material or the 
adhesive into an inlet.   
The seal material or the adhesive entering 
inlet can cause failure.

Start or stop 
after closing 

isolation valve

Danger of vacuum break and 
pollution 

Be sure to close isolation valve between 
vacuum pump and vacuum system 
(chamber) during start-up and stop. 

Start-up or stop with isolation valve in the 
open position can draw back gas and 
debris attached to inside of pump to 
vacuum chamber due to pressure 
differential, resulting in vacuum break and 
pollution on vacuum chamber side. 

Bew are 

temperat ure 

of intake  gas  

Danger of exceeding permissible 
temperature of intake gas 

If intake gas temperature is over 50

℃

, be 

sure to install a chiller or trap             
between vacuum pump and vacuum 
chamber so that gas intake temperature of 
vacuum pump keeps below 50

℃

. 

If not, vacuum pump temperature can 
increase, resulting in failure. 

Operate while 

opening air-flush 

port 

Danger of remaining moisture 

When evacuating moisture, be sure to 
open air-flush port (air-flush opened 
operation). 
If you evacuate vapor while air-flush port 
is closed, condensed water will remain 
inside vacuum pump and cause failure. 

Caution after 

exhausting vapor 

Danger of insufficient vapor 
exhaust 

After evacuating vapor, do air-flush 
opened operation for at least one hour.     
If you close air-flush port or stop vacuum 
pump soon after evacuating vapor, 
condensed water will remain inside 
vacuum pump which will cause failure. 

Beware of intake 

gas volume 

Danger of exceeding permissible 
intake gas volume 

When sending N

2

 gas or dry air into 

air-flush port, pressure should be the 
same as atmospheric pressure and flow 
rate should be less than 5L/min. 
If not, it can increase pressure inside 
vacuum pump, resulting in failure. 

Caution for 

frequent 

start/stop and 

short interval 

Risk of motor malfunction 

Refrain from frequent start/stop operation. 
It induces malfunction of motor such as 
burn out. 
Please consult your distributor or factory 
representative for details.   
Appropriate operating mode with 
adequate interval and frequency of 
start/stop is varies owing to operating 
condition.