Ulvac PHS-04N, Instruction Manual

RF POWER SUPPLY and MATCHINGBOX

Introduction 

iii 

2. Safety Symbols 

Danger

Indicates a state of immediate danger that will lead to 

death or serious injury if it is not avoided. 

Work that ignores this safety section will likely lead to death 

or  serious  injury  of  personnel  or  damage  to  factory 

equipment (including this product). 

Warning

Indicates  a  state  of  danger  that  may  lead  to  death  or 

serious injury if it is not avoided. 

Work that ignores this safety section may lead to death or 

serious injury of personnel or damage to factory equipment 

(including this product). 

Caution 

Indicates  a  state  of  danger  that  may  lead  to  minor 

injury or damage if it is not avoided. 

Work  that  ignores  this  safety  section  may  cause  minor 

injury  to  personnel,  damage  equipment,  or  make 

adjustments necessary. 

Note

There  is  no  direct  danger,  but  the  content  is  intended  to 

inform you about operational safety or proper and safe use 

of this product. 



  It is not possible to predict accurately, operation, inspection, and maintenance dangers in 

all environments. 



  This  instruction  manual  and  the  warnings  listed  on  the  warning  labels  affixed  to  this 

product do not satisfy all aspects of safety. 



  Each  person  that  performs  maintenance  work must  carefully  pay  attention  to  work and 

keep  safety  in  mind  so  that  accidental  deaths  and  injuries,  serious  malfunctions,  and 

product damage do not occur. 



  If  operation,  inspection,  or  maintenance  not  listed  in  this  instruction  manual  is  to  be 

performed, personnel must pay sufficient attention to safety and carry out these actions 

at their own risk.