Varian 969-9365 Series, Instruction Manual

Page 1: ...UNGSHANDBUCH F NOTICE DE MODE D EMPLOI E MANUAL DE INSTRUCCIONES P MANUAL DE INSTRUÇÕES NL BEDRIJFSHANDLEIDING DK INSTRUKSTIONSBOG S BRUKSANVISNING N INSTRUKSJON MANUAL FIN OHJEKÄSIKIRJA GR ODHGIES CRHSEWS H FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV PL PODRECZNIK INSTRUKCJI CZ NÁVOD K POUŽITÍ SK NÁVOD NA OBSLUHU SLO PRIROČNIK ZA NAVODILA GB INSTRUCTION MANUAL ...

Page 2: ...Turbo V 70LP ...

Page 3: ......

Page 4: ......

Page 5: ...UPORABO 46 INSTRUCTIONS FOR USE 49 TECHNICAL INFORMATION 52 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP 52 TECHNICAL SPECIFICATION 53 INLET SCREEN INSTALLATION 55 HEATER BAND INSTALLATION 56 WATER COOLING KIT INSTALLATION 57 BASE FIXING KIT INSTALLATION 58 AIR COOLING KIT INSTALLATION 59 VENT VALVE INSTALLATION 60 VENT DEVICE INSTALLATION 60 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION 61 TYPICAL LAYOUT DIAGRAM 61 Connection...

Page 6: ...lla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata PERICOLO Per evitare danni all apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel ...

Page 7: ...bomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco lare è di 10 mesi dalla data di spedizione ATTENZIONE Se per qualsiasi ragione il tempo di immagazzinamento è superiore occorre reinviare la pompa in fabbrica Per ogni in formazione si prega di contattare il locale rappresentante della Varian PREPARAZIONE PE...

Page 8: ... versioni speciali della pompa Turbo V 70LP Tali pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte compreso tra 0 4 e 1 mbar l s MANUTENZIONE Le pompe della serie Turbo V70LP non richiedono alcuna ma nutenzione Qualsiasi intervento deve essere eseguito da per sonale autorizzato PERICOLO Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla...

Page 9: ...ndung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden GEFAHR Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen I...

Page 10: ...genden Anweisungen zu beachten Während des Transports der Handhabung und der Einla gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 nicht kondensie rend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start in gangzusetzen Die Lagerdauer für eine Turbomole...

Page 11: ...gefahr ACHTUNG Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Edelgase verwenden Der Eingangsdruck am Belüf tungsanschluß muß kleiner als 2 bar sein ACHTUNG Während des Betriebs sind Stoß und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden da die Lager beschädigt werden könnten ACHTUNG Zum Pumpen von aggressiven Gasen dürfen nur Sonderaus führunge...

Page 12: ...grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors En cas de panne du système par exemple à cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l énergie de rotation pourrait être libérée DANGER Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs il faut suivre attentivement les instructions d installation décrites dans ce manuel...

Page 13: ...kage des pompes doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am biantes suivantes température de 20 C à 70 C humidité relative de 0 à 95 non condensante A la première utilisation les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft Start Le temps de stockage d une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d expédition ATTENTION En cas de dépasse...

Page 14: ...e prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar ATTENTION Lorsque la turbopompe fonctionne éviter tout choc oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério rer ATTENTION Pour le pompage de gaz nocif utiliser exclusivement les ver sions spéciales de la pompe Turbo V70LP Ces pompes sont dotées d un port ad hoc à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un f...

Page 15: ...debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores En el caso de un daño del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energía de rotación podría ser liberada PELIGRO Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descrita...

Page 16: ...tales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente ATENCIÓN En caso de superarse por cualquier motivo e...

Page 17: ... gases agresivos utilizar sólo las versiones espe ciales de la bomba Turbo V 70LP Estas bombas van dotadas de una puerta a través de la cual es preciso suministrar a la bomba un caudal de gas inerte comprendido entre 0 4 y 1 mbar l s MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo V70LP no necesitan ningún tipo de mantenimiento Cualquier operación tendrá que ser realizada por personal autorizado PELIGR...

Page 18: ...ia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rotação pode ser liberada PERIGO Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual ...

Page 19: ... ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 não condensante ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativá las sempre em modalidade Soft Start o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição ATENÇÃO Se por uma razão qualquer o período de armazenagem for superior será necessário enviar ou...

Page 20: ...deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos ATENÇÃO Para bombear gases agressivos utilizar só as versões especiais da bomba Turbo V 70LP Estas bombas estão equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte entre 0 4 e 1 mbar l s MANUTENÇÃO As bombas da série Turbo V70LP não requerem qualquer m...

Page 21: ...e energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vrijkomen GEVAAR Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de installatie instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd ...

Page 22: ...aan temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum ATTENTIE Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is moet de ...

Page 23: ...g is De lagers kunnen an ders beschadigd raken ATTENTIE Gebruik voor het pompen van agressieve gassen alleen de speciale uitvoeringen van de Turbo V70LP pomp Deze pom pen zijn voorzien van een speciale poort waardoor een stroom inert gas moet worden geleverd die varieert tussen 0 4 en 1 mbar lt s ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo V70LP zijn onderhoudsvrij Eventuele werkzaamheden moeten door b...

Page 24: ... høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren går i stykker kan omdrejningsenergien spredes ADVARSEL For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning ...

Page 25: ...nktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pum per fra Varian Sørg for at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang...

Page 26: ...brationer eller bratte bevægelser i for bindelse med brug af turbopumpen Der er risiko for beskadi gelse af lejerne VIGTIGT Brug kun specialpumperne af Turbo V 70LP typen til pump ning af ætsende luftarter Disse pumper er forsynede med en særlig åbning gennem hvilken den passive luftarts strømning skal ligge mellem 0 4 og 1 mbar l s VEDLIGEHOLDELSE Pumperne af TURBO V 70LP typen behøver ikke nogen...

Page 27: ...otationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppstå i systemet t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det hända att rotationsenergin frigörs VARNING För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga ...

Page 28: ...för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar Vid transport flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras Temperaturområde 20 C till 70 C Relativ fuktighet 0 till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången De turbomolekylära pumparna kan lagras i...

Page 29: ...ammanstötningar svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång Lagren kan bli skadade VIKTIGT Vid pumpning av aggressiva gaser skall den specialkonstruerade versionen av Turbo V 70LP pumpen användas Denna pumptyp är försedd med ett specialuttag dit ett ädelgasflöde mellan 0 4 och 1 mbar l s skall anslutas UNDERHÅLL Pumparna i Turbo V 70LP serien är underhållsfria Allt s...

Page 30: ...ginivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren kan roteringsenergien bli frigitt ADVARSEL For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye ...

Page 31: ...rian turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges Under transport flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden må alltid soft starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato FORSIKTI...

Page 32: ...å støt svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i funksjon Lagrene kan skades FORSIKTIG Ved pumping av aggressive gasser må det brukes spesialversjoner av Turbo V 70LP pumpen Disse pumpene har en spesiell port som kan brukes til flyt av inaktive gass med trykk mellom 0 4 og 1 mbar l s VEDLIKEHOLD Turbo V 70LP serien pumper er vedlikeholdsfrie Alt arbeid på pumpen må kun u...

Page 33: ...heutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan Järjestelmän vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa pyörimisenergia saattaa vapautua VAARA Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi ...

Page 34: ...euraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää lämpötila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivistävä Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä HUOMIO Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi pumppu tulee palauttaa t...

Page 35: ...ia HUOMIO Vältä kolhuja heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana sillä laakerit voivat vahingoittua HUOMIO Aggressiivisten kaasujen pumppauksessa käyttäkää ainoastaan Turbo V70LP pumpun erikoisversiota Näissä pumpuissa on aukko jonka läpi on kuljettava 0 4 ja 1 mbar l s n välillä oleva jalokaasuvirta HUOLTO Sarjan Turbo V 70LP pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa Minkä tahansa toime...

Page 36: ...περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήματος για παράδειγμα επαφής ρότορα επαγωγέα ή ακόμη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα η ενέργεια περιστροφής μπορεί να ελευθερωθεί KINDUNOS Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισμού και για την πρόληψη τραυματισμών του προσωπικού οι οδηγίες εγκατάστασης όπως δίνονται στο παρ...

Page 37: ...f j kat th metafor th diak nhsh kai thn apoqˇkeush twn antlièn den pr pei na uperba nontai oi exˇj periballontik j sunqˇkej qermokras a apÒ 20 C wj 70 C scetikˇ ugras a apÒ 0 wj 95 mh sumpuknèsimh o pel thj pr pei na an bei tij strobilomoriak j antl ej me ton trÒpo Soft Start Òtan paralamb nontai kai q tontai se leitourg a gia prèth for o crÒnoj apoqˇkeushj m aj strobilomoriakˇj antl aj e nai 10 m...

Page 38: ...am sou thj eidikˇj pÒrtaj pr pei na e nai mikrÒterh apÒ 2 bar PROSOCH Apofuvgete sugkrouvseiÇ olisqhvseiÇ hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ antlivaÇ touvrmpo ovtan brivsketai se leitourgiva Qa mporouvsan na pavqoun zhmievÇ ta kouzinevta PROSOCH Gia thn ntlhsh polemikèn aerwn crhsimopoiˇste mÒno tij ekdÒseij thj antlaj Turbo V70LP Autj oi antlej enai efodiasmnej me mia eidikˇ qurda msw thj opoaj enai ...

Page 39: ...val rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt A rendszer hibás működése például a rotor állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése esetén a forgási energia felszabadulhat VIGYÁZAT A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani ...

Page 40: ...olásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni hőmérséklettartomány 20 C 70 C relatív páratartalom 0 95 nem kondenzáló A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a szállítás dátumától FIGYELEM Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik a szivatty...

Page 41: ... megsérülhetnek FIGYELEM Agresszív gázok szivattyúzásához használja a Turbo V 70LP szivattyú különlegesen kialakított változatait Ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges porttal amelyen keresztül semleges gáztnak kell áthaladnia 0 4 és 1 mbar s között KARBANTARTÁS A Turbo V70LP sorozatú szivattyú nem igényel karbantartást A szivattyún végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell...

Page 42: ... bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników W przypadku uszkodzenia systemu na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika energia obrotowa może być zwolniona NIEBEZPIECZEŃSTWO Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej i...

Page 43: ...d 0 do 95 bez opar klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zawsze uruchomić w sposób Soft Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki UWAGA Jeżeli z jakiegokolwiek powodu czas magazynowania jest dłuższy należy odesłać pompę do fabryki W celu jakiejkolwiek informacji prosimy skontaktować się z miejscowym prze...

Page 44: ...e pompy Turbo V 70LP Pompy te są wyposażone w odpowiednie wejście poprzez które należy dostarczyć pompie strumień obojętnego gazu w zakresie 0 4 a 1 mbar l s KONSERWACJA Pompy serii Turbo V70LP nie wymagają żadnej konserwacji Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel NIEBEZPIECZEŃSTWO Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na turbopompie należy odłączyć konektor zasi...

Page 45: ...ují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů V případě systémové nefukčnosti např kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie VÝSTRAHA Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy ...

Page 46: ...technické podmínky prostředí Teplotní rozpětí 20 C až 70 C Rozpětí vlhkosti 0 až 95 bez srážení turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé vždycky spouštět pozvolně skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne doručení VAROVÁNÍ Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty vývěvu musíte vrátit výrobci Informujte se prosím u místního zástupce pro prode...

Page 47: ...prudkými pohyby Mohly by se poškodit ložiska VAROVÁNÍ Pro odčerpávání agresivních plynů používejte speciálně konstruované verze vývěvy Turbo V 70LP Tyto vývěvy jsou vybaveny speciálním otvorem kterým musí protékat inertní plyn v rozmezí 0 4 až 1 mbar l s ÚDRŽBA Vývěva řady Turbo V70LP nevyžaduje žádnou údržbu Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby VÝSTRAHA Než začnete provád...

Page 48: ...ĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov V prípade systémovej poruchy napr pri kontaktu rotora statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia VAROVANIE Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy ...

Page 49: ...as prevozu prenášania a uchovávania vývev rozsah teplôt 20 C až 70 C rozsah relatívnej vlhkosti 0 až 95 bez kondenzácie zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy použiť režim soft štartu skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo dňa dodania UPOZORNENIE Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia vráťte vývevu do závodu v ktorom bola vyrobená Informácie...

Page 50: ...e musí byť nižší než 2 bary UPOZORNENIE Dbajte na to aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom kmitaniu alebo prudkým pohybom Mohli by sa poškodiť ložiská UPOZORNENIE Pre čerpanie agresívnych plynov použite špeciálne navrhnutú verziu vývevy Turbo V 70 Tieto pumpy majú zvláštny otvor ktorým musí prechádzať inertný plyn prietokom 0 4 and 1 mbar l s ÚDRŽBA Vývevy série Turbo V70 nevyžadujú ž...

Page 51: ...ino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija OPOZORILO Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika ...

Page 52: ...e 20 C do 70 C območje relativne vlažnosti 0 do 95 brez kondenza Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja POZOR Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo je treba črpalko vrniti v tovarno Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Varia...

Page 53: ...POZOR Izogibajte se udarcem oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom delovanja Nosilci se lahko poškodujejo POZOR Za črpanje agresivnih plinov uporabite posebno narejene različice črpalke Turbo V 70LP Te črpalke so opremljene s posebno odprtino preko katere mora teči plin med 0 4 in 1 mbar l s VZDRŽEVANJE Črpalke serije Turbo V 70LP ne potrebujejo vzdrževanja Kakršno koli delo na sistemu mo...

Page 54: ...rgy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released WARNING To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed ...

Page 55: ...ps the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the cus tomer the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded the...

Page 56: ...ed CAUTION For pumping aggressive gases use the specially desgined versions of the Turbo V 70LP pump These pumps are fitted with a special port through which a flow of inert gas must be passed between 0 4 and 1 mbar l s MAINTENANCE The Turbo V70LP series pump does not require any mainte nance Any work performed on the pump must be carried out by authorized personnel WARNING Before carrying out any...

Page 57: ... fabricated in stainless steel These are supported and accu rately positioned by spacer rings The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs These are fabricated in aluminium al loy During normal operation the motor functions with a power feed at 54 Vac three phase at 1250 Hz To reduce losses...

Page 58: ...sition any Cooling requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 10 l h 0 05 GPM temperature 10 C to 30 C pressure 2 to 4 bar 30 to 60 Psi Bakeout temperature 120 C at inlet flange max CF flange 80 C at inlet flange max ISO flange Vibration level displacement 0 01 μm at inlet flange Noise level 45 dB A at 1 meter Input...

Page 59: ... 87 900 862 01 G Graph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump ...

Page 60: ...however does reduce the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy removal see figure The following figure shows the overall flange di mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange on the left side and pump with 4 5 CFF flang...

Page 61: ...tact with the pump wall to ob tain fast and efficient heating Switch on the heater while the turbopump is in op eration If for any reason the turbopump body overheats it will be automatically cut out by the thermistor sensor NOTE The turbopump must be baked only when oper ating with an inlet pressure less than 10 4 mbar and with water cooling CAUTION If the chamber of the system is baked at a high...

Page 62: ...stic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE These hoses must be held on the respective noz zles using hose clips to avoid that the tube do not detach during operation The plastic model must be screwed into the suit able holes of the pump Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling syst...

Page 63: ... not protrude from the other end Use the Allen key supplied for this purpose Turn the pump upside down CAUTION Before overturning the pump remove the protec tion screen if fitted Insert the three feed as shown in the figure bear ing in mind that the position must be as indicated in the figure For the feet to the pump by tightening the previ ously inserted grub screws with the Allen key Turn the pu...

Page 64: ...ensions 60x60 mm 2 36x2 36 inches Open the package containing the feet and respec tive screws and install them as indicated in the in stallation of the base fixing kit Position the fan on the pump ensuring that the holes in the plate line up with those in the feet Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver Connect the fan to the controller The fan can also be mounted u...

Page 65: ...ew the adapter 1 into the vent hole 2 of the pump Fix the valve 3 to the adapter 2 Tighten the valve using a 16 mm hexagonal span ner CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump VENT DEVICE INSTALLATION The vent device mod 969 9831 allows to avoid undesired pump aeration of the pump during a temporary power failure adjustable time up to 36 min and enables an auto...

Page 66: ... to the relevant instruction manual TYPICAL LAYOUT DIAGRAM 1 Turbo V controller 2 Vent valve 3 Vacuum pump shut off valve optional 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 Ionization gauge 7 Fore vacuum pump connecting flange 8 Oil mist eliminator 9 Fore vacuum pump with internal one way valve 10 Fore vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 12 Roughing line with valve opti...

Page 67: ...o the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that the 2 75 CF flange has six blind holes Attach the units and tighten each one in turn Re peat the sequential tightening until the flange faces meet CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock Connection configurations ...

Page 68: ...ly to the motor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 KΩ resistance at 25 C and pin E is connected to the pump ground If the temperature sensor is disconnected the pump will not start To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 C the sensor automatically cuts out the power supply ACCESSORIES DESCRIPTION PART NUMBER Inlet screen DN40 969 9309 Inlet scree...

Page 69: ...NTIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping Error Evaluation Return Calibration Other HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY Call Varian Custome...

Page 70: ...ate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Other Customer application Customer application PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach v...

Page 71: ...2 1263 Toll Free 0120 655 040 Korea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico Varian S de R L de C V Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 14F 6 No 77 Hsin Tai Wu Rd Sec 1 Hsi chi...