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GEBRAUCHSANLEITUNG

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87-900-847-01 (B)

ALLGEMEINES

Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor
Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen
genau lesen. Bei Nichtbeachtung - auch teilweise - der
enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch
durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten
Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur
Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die
Firma Varian keinerlei Haftung.

In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen
Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der
Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte
technische Informationen sind im Anhang "Technical
Information" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheits-
hinweise folgendermaßen hervorgehoben:

!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des
Bedieners auf eine bestimmte Prozedur oder Praktik,
die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen
hervorrufen können.

ACHTUNG!

Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen
den Bediener darauf aufmerksam, daß bei
Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen
können.

ANMERKUNG

Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die
im Text hervorgehoben werden sollen.

LAGERUNG

Beim Transport und bei der Lagerung der Controller
müssen folgende klimatische Verhältnisse eingehalten
werden:

  Temperatur: von -20 °C bis +70 °C

  Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95 %

(nicht kondensierend)

VOR DER INSTALLATION

Das Gerät wird mit einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der
zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden.
Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit dem Gerät
nicht herunter fällt oder Stößen ausgesetzt wird.
Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt
werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der
EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz.

Steuerungen, Anzeigen und Anschlüsse des
Handterminals

Nachstehend werden die Steuertafel des
Handterminals.
Für weitere Einzelheiten siehe den Anhang "Technical
Information".

1.

 Taste für die Einstellung des Modus LOW SPEED. Sie

ist nur aktiv, wenn der Steuermodus auf Fronttafel
eingestellt ist. Bei einmaligem Drücken dreht die
Pumpe mit ca. 2/3 der Nenngeschwindigkeit. Bei
nochmaligem Drücken wird der Modus LOW SPEED
deaktiviert.

2.

 START-, STOPP- oder RESET-Taste. Sie ist nur aktiv,

wenn der Steuermodus auf der Fronttafel eingestellt ist.
Bei einmaligem Drücken wird die Startphase aktiviert.
Bei nochmaligem Drücken stoppt die Pumpe. Bei
automatischem Pumpenstopp durch Störung muß diese
Taste ein erstes Mal zum Gerät

 

Rücksetzung und dann

ein zweites Mal zum Neustarten der Pumpe gedrückt
werden.

3.

 Taste für die Anzeige der Parameter "cycle number",

"cycle time" und "pump life".

4.

 Taste für die Anzeige der Parameter "pump current",

"pump temperature", "pump power" und "rational
speed". Sie ist immer aktiv, unabhängig vom gewählten
Betriebsmodus. Bei gemeinsamer, mindestens 2
Sekunden langer Betätigung der Tasten 3 und 4 wird
ein Programm aktiviert, mit dem einige
Betriebsparamter programmiert werden können.

5.

 Alphanumerisches Flüssigkristall-Display: Punktmatrix,

2 Zeilen mit 16 Stellen.

Fronttafel des Handterminals

ANMERKUNG

Die Funktionen LOW SPEED und START/STOP
RESET sind nur aktiviert, wenn der Operationsmodus
FRONT Panel gewählt ist (siehe "Technical
Information").

GEFAHR!

Summary of Contents for 969-9860

Page 1: ...87 900 847 01 B APRIL 2002 MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI INSTRUCTION MANUAL Hand held Terminal Model 969 9860 vacuum technologies ...

Page 2: ...Hand held Terminal ...

Page 3: ......

Page 4: ......

Page 5: ...SCRIPTION 5 USE 5 General 5 Monitor Mode 5 Program Mode 5 FRONT REMOTE 232 Selection 5 Monitor Relay Programming 6 Reset Command 7 Starting the Pump 8 Operating the Pump 8 Low Speed Operation 8 Speed Adjustment 9 Pump Shutdown 10 Power Failure 10 Remote Control Mode Operation 10 RS 232 Control Mode Operation 10 ERROR MESSAGES 11 ...

Page 6: ...le Durante l operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere l Hand Held Terminal e a non sottoporlo ad urti Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente Comandi indicatori e connettori dell Hand Held Terminal Di seguito sono illustrati il pannello dell Hand Held Te...

Page 7: ...ändigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden Beim Auspacken vorsichtig vorgehen damit dem Gerät nicht herunter fällt oder Stößen ausgesetzt wird Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG Richtlinie 85 399 für Umweltschutz Steuerungen Anzeigen und Anschlüsse des Handterminals Nachstehend werden die Steuertafel des Handterminals Für w...

Page 8: ... particulièrement à ne pas laisser tomber le contrôleur et à ne lui faire subir aucun choc Ne pas jeter l emballage dans la nature Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme aux directives CEE 83 399 en matière de protection de l environnement Commandes indicateurs et connecteurs du hand held terminal On présente ci dessous le tableau de commande du hand held terminal Pour de plus a...

Page 9: ...ffice When unpacking the Hand held terminal ensure that it is not dropped or subjected to any form of impact Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 Hand held Terminal Controls Indicators and Connectors The following paragraph illustrates the Hand held terminal panel More details are contained in the ap...

Page 10: ...speed of the pump as a function of the controller output frequency range 17 to 99 KRPM C is the temperature of the outer ring of the upper bearing range 00 to 99 C X during operation a selected set point condition 1 or 2 contrast inverted appears when the programmed threshold speed value is not reached Press the CYCLE NUMBER once and the display shows X X X X C Y C L E X X X X X m P U M P L I F E ...

Page 11: ...following figure Monitor Relay Programming The display shows S P E E D T H R E S H O L D S E L E C T I O N X X K R P M where XXKRPM is the switch point of relay R1 at the preset turbopump speed adjustable from 00 to 99 KRPM The speed threshold will condition the R1 and R2 operation see the following cycle diagram Select the first number by pressing the CYCLE NUMBER push button then enter the value...

Page 12: ... I F E X X X X X h R E S E T X X X where PUMP LIFE is the elapsed operating time range 000 to 99999 hours RESET XXX YES or NO If YES is selected the pump life shall be reset to 000 After selecting YES press the PUMP CURRENT push button to enter the command and the display shows as follows I 0 0 0 A P 0 W X K R P M X X C NOTE When PUMP LIFE is reset to 000 the CYCLE number is also reset to 000 ...

Page 13: ...en the pump reaches the normal speed the display reverts to the previous figure Operating the Pump After the starting period if the system has a vacuum leak or the pressure in the pump chamber is high from 1 mbar to atmosphere the pump continues to operate indefinitely If the gas load at the turbopump inlet flange continues to stay high the power drawn by the turbopump increases up to the maximum ...

Page 14: ...essing CYCLE NUMBER and PUMP CURRENT pushbuttons together for at least 4 seconds the processor enters in a routine where it is possible to adjust the rotational speed The display shows H I G H S P E E D S E L E C T X X X X X R P M where XXXXX is the pump rotational HIGH SPEED value selected In this routing the CYCLE pushbutton is used to increase the speed value and the LOW SPEED pushbutton is use...

Page 15: ...tarts the interconnected devices and the turbopump in the proper sequence The display shows P U M P I S S T A R T I N G 1 2 X X K R P M until normal operation achieved Remote Control Mode Operation If remote signals are used to operate the controller it must be programmed for remote operation see paragraph Program Mode and when ready to start the display shows as in the following figure P U M P R ...

Page 16: ... pump NOTE If the controller transformer temperature exceeds 90 C the pump is shut off and the display will be as shown in the following figure F A U L T C O N T R O L L E R O V E R T E M P E R A T U R E The message will stay on until the temperature decreases below threshold value Press the STOP RESET pushbutton twice to start the pump NOTE If in normal condition the current drawn by the pump is ...

Page 17: ...NTIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping Error Evaluation Return Calibration Other HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY Call Varian Custome...

Page 18: ...ate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Other Customer application Customer application PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach v...

Page 19: ...ian India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9111 Fax 39 011 997 9350 Japan Varian Vacuum Technologies Sumitomo Shibaura Building 8th Floor 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 Japan Tel 81 3 5232 1253 Fax...

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