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MODE D’EMPLOI 

 5 

87-900-862-01(E) 

GENERALITES 

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profession-
nelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice 
d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire four-
nie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par consé-
quent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle 
des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un 
personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi 
contraire aux réglementations nationales spécifiques. 
Les pompes de la série Turbo-V 70LP.sont des pompes turbomo-
léculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultra-
poussé, capables de pomper n'importe quel type de gaz ou de 
composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de 
liquides ou de particules solides. 
L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à 
vitesse élevée (75000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique 
triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V 70LP sont tota-
lement dépourvues d’agents polluants et sont par conséquent 
indiquées pour les applications exigeant un vide “propre”. 
Les paragraphes suivants donnent toutes les indications néces-
saires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant l’utilisation de 
l’appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans 
l’appendice “Technical Information”. 
 

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

  

 

!

 

DANGER!

 

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une 
procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effec-
tuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. 

!

 

ATTENTION! 

Les messages d'attention apparaissent  avant certaines procédu-
res  qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager 
sérieusement l'appareillage. 

NOTE

 

Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du 
texte. 

STOCKAGE 

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pom-
pes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les 
instructions suivantes : 

• 

Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doi-
vent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes 
suivantes: 

• 

température : de –20 °C à +70 °C 

• 

humidité relative : de 0 à 95% (non condensante) 

• 

A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doi-
vent toujours être mises en marche en mode soft-Start.   

• 

Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 
10 mois à compter de la date d'expédition. 

!

 ATTENTION!

 

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être 
retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le 
représentant Varian de zone.  

PREPARATION POUR L'INSTALLATION 

La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si 
l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits 
pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. 
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particu-
lièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir 
aucun choc ni aucune vibration. 
Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entiè-
rement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en 
matière de protection de l'environnement. 

 

!

 

ATTENTION! 

 En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les 
mains nues, les éléments devant être  exposés au vide. Mettre 
toujours des gants ou toute autre protection appropriée. 
 

 

NOTE 

La pompe ne peut être endommagée en restant simplement 
exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la gar-
der enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute 
pollution due à la poussière. 

INSTALLATION 

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à 
des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières, 
à des gaz de combat ainsi que dans des milieux explosifs ou à 
risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est néces-
saire de respecter les conditions environnementales suivantes: 
 

− 

pression maxi: 2 bar 

− 

température: de +5°C° à +35°C 

− 

humidité relative: 0 - 95% (non condensante) 

 
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 70LP ne doi-
vent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux Varian 
(série 969-9405, 969-9505, 969-9507 ou 969-9508) et doivent 
être connectées à une pompe primaire (Cf. schéma dans “Tech-
nical Information”). 

!

 

ATTENTION! 

N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la 
connexion de la turbopompe au système. 

 

 

 

Summary of Contents for Turbo-V70LP

Page 1: ...ies MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRU ES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEK SIKIRJA OD...

Page 2: ...Turbo V 70LP...

Page 3: ......

Page 4: ......

Page 5: ...DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP 25 TECHNICAL SPECIFICATION 26 INLET SCREEN INSTALLATION 28 HEATER BAND INSTALLATION 29 WATER COOLING KIT INSTALLATION 30 BASE FIXING KIT INSTALLATION 31 AIR COOLING KIT I...

Page 6: ...rbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione ATTENZIONE Se per...

Page 7: ...inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa qu...

Page 8: ...nden Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlage rung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feuch...

Page 9: ...werden Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120 C nicht berschreitet sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen die TP mit Wasserk hlung arbeiten GEFAHR W hrend des Ausheizens d rfen wede...

Page 10: ...le stockage des pompes doi vent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante A la premi re utilisation les pompes...

Page 11: ...de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ven tuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut causer des l sions aux personnes ATTENTION Pour le refoulement de l air de la...

Page 12: ...tales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcio...

Page 13: ...La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCION Para el env o de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta apr...

Page 14: ...observadas as seguintes prescri es durante o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condi es ambientais devem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n...

Page 15: ...opera es de aquecimento Utilizar sempre o resfriamento com gua durante as opera es de aquecimento PERIGO N o tocar a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elev...

Page 16: ...en in acht worden genomen tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95...

Page 17: ...ns het verwarmen altijd waterkoeling toe GEVAAR Raak de pomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken ATTENTIE Gebruik voor de luc...

Page 18: ...unktion og driftssikkerhed i de turbomolekyl re pumper fra Varian S rg for at omgivelserne opfylder f lgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 2...

Page 19: ...ventuelt tilbeh r under opvar mningsman vrerne Den h je temperatur kan for rsage kv stel ser p personer PAS P Til pumpens luftafl b anvendes luft eller en inaktiv luftart der er fri for st v og partik...

Page 20: ...f r att garantera optimal prestanda och drifts kerhet f r Varian turbomolekyl ra pumpar Vid transport flytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 20...

Page 21: ...en av pumploppet f r temperaturen vid inloppet aldrig bli h gre n 120 C Under uppv rmningen m ste vattenkylningen anv ndas VARNING Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r...

Page 22: ...Varian turbo molekyl re pumper m f lgende anvisninger f lges Under transport flytting og lagring av pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra...

Page 23: ...under oppvarmingen ADVARSEL Ikke ber r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De h ye temperaturene kan f re til brannskader FORSIKTIG Bruk st v og partikkelfri luft eller inakti...

Page 24: ...aan seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan...

Page 25: ...tai sen lis osiin kuumentamisen aikana Korkea l mp tila voi saada aikaan henkil iden loukkaantumisia HUOMIO P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia...

Page 26: ...kat th metafor th diak nhsh kai thn apoq keush twn antli n den pr pei na uperba nontai oi ex j periballontik j sunq kej qermokras a ap 20 C wj 70 C scetik ugras a ap 0 wj 95 mh sumpukn simh o pel thj...

Page 27: ...NDUNOS Mhn agg zete thn tourmpoantl a kai ta di fora exart mat thj kat tij ergas ej q rmanshj H uyhl qermokras a mpore na prokal sei proswpik j bl bej PROSOCH Gia na diocete sete me a ra thn antl a cr...

Page 28: ...s the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started w...

Page 29: ...ies during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar...

Page 30: ...ed air cooling to cool the pump in the cases where it is used under heavy load or when natural convection is insufficient for cooling purposes A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to...

Page 31: ...requirements Natural air convection Forced air or water optional Operating ambient temperature 5 C to 35 C Coolant water flow 10 l h 0 05 GPM temperature 10 C to 30 C pressure 2 to 4 bar 30 to 60 Psi...

Page 32: ...ph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum...

Page 33: ...the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy...

Page 34: ...tact with the pump wall to obtain fast and efficient heating Switch on the heater while the turbopump is in op eration If for any reason the turbopump body overheats it will be automatically cut out b...

Page 35: ...tic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles NOTE These hoses must be held on the respective noz zles using hose clips to avoid that the tube do not detach during operation The pl...

Page 36: ...not protrude from the other end Use the Allen key supplied for this purpose Turn the pump upside down CAUTION Before overturning the pump remove the protec tion screen if fitted Insert the three feed...

Page 37: ...w 9 l s 10 CFM input voltage 24 Vdc maximum power 2 16 W dimensions 60x60 mm 2 36x2 36 inches Open the package containing the feet and respec tive screws and install them as indicated in the in stalla...

Page 38: ...w the adapter 1 into the vent hole 2 of the pump Fix the valve 3 to the adapter 2 Tighten the valve using a 16 mm hexagonal span ner CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread...

Page 39: ...er It typically reduces the vibration transmitted from the Turbo V 70LP pump to the system by a factor of 20 6 Ionization gauge 7 Fore vacuum pump connecting flange 8 Oil mist eliminator Please refer...

Page 40: ...the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that the 2 75 CF flange has six blind holes Attach the units and tighten each one in turn Re peat the sequential tigh...

Page 41: ...ed to the temperature sensor NTC type 30 K resistance at 25 C and pin E is connected to the pump ground If the temperature sensor is disconnected the pump will not start To prevent damage to the pump...

Page 42: ...TIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping E...

Page 43: ...rate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Oth...

Page 44: ...an India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 1...

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